低溫等離子光氧一體機的工作原理：通過破壞、分解、催化氧化把污染氣體分解為無味氣體。采用C波段光線強裂污染氣體分子鏈，改變物質分子結構，將高分子污染物質裂解、氧化成為低分子物質，如水和二氧化碳等。O3強催化氧化劑進行廢氣催化氧化, 可地殺滅，將物質破壞且改變成為低分子物質。對于低溫等離子光氧一體機的應用也比較廣泛，主要運用在造紙業、制藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的氣體、惡臭和異味的處理，是目前市場上的廢氣凈化設備。

低溫等離子光氧一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，后段主要處理voc廢氣的氣味。等離子區工作原理：當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。（在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使物質轉變成或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。）