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Werth測量機(jī)的測量范圍從幾十個(gè)毫米到數(shù)米,精度從幾個(gè)微米到百個(gè)納米,測量分辨率到達(dá)1個(gè)納米,可以集成進(jìn)去使用的測量傳感器:接觸式單點(diǎn)、接觸式掃描、低接觸力測頭、激光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側(cè)頭,WERTH光學(xué)測頭、普通光學(xué)測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復(fù)合的粗糙度測頭,WERTHCT(X光高精度)測頭等十多種
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