Werth測量機的測量范圍從幾十個毫米到數米，精度從幾個微米到百個納米，測量分辨率到達1個納米，可以集成進去使用的測量傳感器：接觸式單點、接觸式掃描、低接觸力測頭、激  光、激光線掃描、快速激光、WERTH光纖側頭，WERTH光學測頭、普通光學測頭、可見光干涉測頭、接觸式和激光復合的粗糙度測頭，WERTH CT (X 光高精度)測頭等十多種。

主要優點
◆ 使用三坐標測量機中的探針接頭
◆ 在工件坐標系中測量
◆ 光學測量部分可以進行標定
◆ 可以測量宏觀和微觀的結構
◆ 使用簡單
◆ 費用低

局限
◆ 一維的傳感器
◆ 接觸式

可以測量的特征
◆ 尺寸, 位置, 二維形貌 (三維形貌部分可測)
◆ 可以用于SPC和測量報告

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