產品簡介
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀是一款針對實驗室需要專門開發的小型臺式等離子清洗機，處理室為圓筒形石英玻璃，處理器為電容耦合外電極型，內部無電極。即放電能量從處理器外部施加，可以避免電極的腐蝕和反應物在極板沉積的問題。
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀應用：PDMS鍵合、引入特定官能團、等離子灰化、表面親疏水改性、提高粘接性
VPS-QZ05石英真空等離子處理儀特點：處理過程中不會引入污染物、操作簡單、適合于研究院、高校、研發中心使用
產品參數
型號 | VPS-QZ05 |
頻率 | 13. 56 MHz |
功率 | 0-200W連續可調 |
腔體材質 | 優質石英 |
腔體容積 | 5L |
腔體尺寸 | Φ150×290（D）mm |
氣體流量控制器 | MFC 質量流量控制器 |
氣路數量 | 2 路氣體，常用O2、Ar2、N2，H2、等（腐蝕性氣體需定制） |
真空測定系統 | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | PLC+4.3寸觸摸屏 |
真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
電源供應 | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |
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