POLOS® SPIN150x 勻膠機 產品特點：

▲獨特設計

創新的外殼與排液系統設計可實現桌面式與嵌入式模式快速切換。模塊化設計支持通過多種配件升級系統，優化滴液操作和整體處理流程。

▲電機歸位功能

新型SPINx系列可自定義電機歸位位置，便于集成到機器人控制/自動化生產環境。

▲便捷腔體操作

真空吸盤高于腔體邊緣設計，允許通過末端執行器、鑷子或真空吸筆便捷取放晶圓/基片，滿足機器人操作的特殊需求。

▲自動頂蓋

通過操作界面或腳踏板（手套箱操作）實現頂蓋自動開閉，并可在工藝配方最后步驟設置自動開蓋功能。

▲液體過濾收集器

SPINx系列配備液體過濾收集器，可有效保護旋涂機的馬達、真空閥、傳感器等關鍵部件。該裝置在液體通過腔體或真空吸盤進入管道時會被捕獲，并儲存在可觀察的液體罐中，維護時需定期清理。

POLOS® SPIN150x 勻膠機 硬件規格：

● 腔體材質：天然聚丙烯（NPP）或PTFE

● 基材尺寸：10mm碎片~6英寸（150毫米）晶圓或4×4英寸（100毫米）基板
● 液體過濾收集器
● 自動頂蓋（支持腳踏板控制 - 高級版）
● 可編程電機歸位位置
● 中心注射式針筒/滴液嘴支架
● 安全鎖蓋和真空傳感器
● 大型可拆卸觸控屏
● USB接口（配方存儲/軟件升級）

● 可在桌面式/嵌入式結構之前自由切換

● 無刷電機：0~12000 RPM
● 高加速度：1~30000 RPM
● 支持正轉、反轉、以及Puddle Mode

適用工藝：
● 鍍膜Coating
● 蝕刻Etching
● 清洗Cleaning
● 沖洗/干燥Rinse/Dry
● 顯影Developing

● PDMI及其他工藝

標準配件：
● 4~6英寸晶圓真空吸盤
● ≥10mm碎片真空吸盤

標準版 vs 高級版（Advanced）