SRP-4面銅探頭測試技術參數：

　　銅厚測量范圍：

　　化學銅：10μin–500μin (0.25μm–12.7μm)

　　電鍍銅：0.1 mil–6 mil (2.5μm–152μm)

　　線形銅可測試線寬范圍：8 mil–250 mil (203μm–6350μm)

　　準確度：±1% (±0.1μm)參考標準片

　　精確度：化學銅：標準差0.2 %；電鍍銅：標準差0.5 %

　　分辨率：0.01 mils≥1 mil, 0.001 mils <1 mil,

　　0.1μm≥10μm, 0.01μm < 10μm, 0.001μm < 1μm

　　ETP孔銅探頭測試技術參數：

　　可測試最小孔直徑：35 mils (899μm)

　　測量厚度范圍：0.08–4.0 mils (1–102μm)

　　電渦流原理：遵守ASTM-E376-96標準的相關規定

　　準確度：±0.01 mil (0.25μm) < 1 mil (25μm)

　　精確度：1.2 mil（30μm）時，達到1.0%（實驗室情況下）

　　分辨率：0.01 mils (0.1μm)