一、設備簡介

M6 Spin Coater可旋涂處理小碎片至6英寸圓晶圓片，使用無刷直流雙向旋轉馬達控制，轉速穩定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3英寸全彩觸屏人機界面操作，簡單易用。M6 Spin Coater外形美觀，結構緊湊，專為實驗室，研發和小規模生產部門提供性價比高的勻膠涂覆設備。M6 Spin Coater在材料、化學或生物等實驗室被廣泛用于薄膜制備，納米薄膜研究等相關領域。

應用領域

? 半導體芯片制造

? 鈣鈦礦太陽能電池制備

? 微納和微流控

? 納米薄膜

? 高分子材料

? 有機光伏

? 有機發光二極管

? 有機場效應晶體管&薄膜晶體管

? 石墨烯&二維材料

二、技術參數

▲1.保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護（可選擇取消）；

2.支持Wafer尺寸：最小標配為10 mm，可選配到3mm或5mm；到直徑6英寸（150mm）的圓片或邊長5x5英寸（125x125mm）的方片，無需更換片托；

3.設備材質：全部采用易清潔的NPP天然聚丙烯材質，環保，抗震，耐腐蝕；

▲4.無刷馬達：直流雙向旋轉，正反旋轉速度±100~±12000rpm，穩定性能誤差±1rpm；

5.馬達安全模式：可設置非真空模式，轉速3000rpm，加速度500rpm/s；

6.加速度可控范圍：100-30000RPM/S；

7.工藝時間：每步可以設定45小時，精度不超過0.1秒；

8. PLC控制：4.3英寸全彩觸摸屏高精度PLC可編程的控制器；

9.程序段：可存儲99個程序段，每個程序段可設置50個不同步驟的速度狀態；

10.無油真空泵：220V/50Hz；真空吸附范圍25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可調節；

11.擴展功能：可升級預留端口，可擴展自動滴膠裝置、自動去邊裝置、手動去邊等選配項。

三、設備性能特點

馬達控制：無刷直流雙向旋轉；

智能程控：控制器可拆卸，4.3英寸寸全彩觸屏，配有智能觸碰筆，按鍵有提示音，選中功能有顏色區分，適用于手套箱；

腔體材質：易清潔的NPP天然聚丙烯材質，抗腐蝕性；

模式切換：可自由切換單步模式、多步模式和曲線分析圖；

防止堵膠：雙真空腔設計；

預留端口：可升級擴展其他多種選配項；

密碼功能：設有開機密碼和管理員密碼，管理員有權限修改核心參數；

安全報警：系統蓋板嵌鎖、真空異常、通氣異常、系統進膠、馬達轉速異常均會報警，通過聲音和界面對話框提示；

氣流保護：旋涂過程中對馬達進行氣流保護（也可選擇取消），易維護，易清潔，大幅提高馬達使用壽命；

邁可諾技術有限公司

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