這款高精度直驅線性平移臺是精密線性直驅平移臺,采用光學編碼器和3相無鐵線性無刷伺服電機技術,為用戶帶來零反沖高精度平移運動,具有的平移精度高,重復精度高和摩擦低的特點。
高精度直驅線性平移臺采用線性非接觸式光學編碼器作為反饋系統,使得位置控制高達亞納米級分辨率。
高精度直驅線性平移臺采用自然老化鋁合金確保了平移臺高溫穩定性和輕巧性,以及優良的長周期運動,導軌系統不會發生漂移。
高精度直驅線性平移臺可以用于潔凈空間環境或真空度10^-3Torr的真空環境,也可根據用戶要求提供高真空直驅平移臺。
高精度直驅線性平移臺可以輕松地直接連接到光學平臺上,可直接安裝搭建成電動XY二維平移臺,無需使用任何連接板,也可按要求提供垂直Z軸平移臺。
高精度直驅線性平移臺還可以安裝到花崗巖龍門架或高精度平臺上實現高精度平移定位。
圖1：高精度直驅線性平移臺實物圖
高精度直驅線性平移臺特點
超精密位移運動能力
直接驅動無反沖backlash系統
高分辨率非接觸式光學編碼器
高精度線性導向和運載系統
超長使用壽命
方便集成到各種平臺或光學機械系統中
XY二維位移臺的正交性高達<=5arcsec
非常適合光學延遲線應用
圖2：采用高精度直驅線性平移臺搭建的電動XY二維線性位移臺系統
高精度直驅線性平移臺規格
| 行程范圍 | 300mm |
| 編碼器類型 | 光學編碼器 |
| 編碼器型號 | LEn1 |
| 編碼器分辨率 | 25nm~5um任意 |
| 編碼器接口 | 差分RS422 |
| 放大系數 | 4-200任選 |
| 編碼器光柵周期, | 20um |
| 參考標記 (Index) | Yes |
| 精度2) | |
| 標定前 | ±5μm |
| 標定后 | ±1μm |
| 單向重復精度 | N/A |
| 雙項重復精度（peak-peak)2) | ±0.15μm |
| 雙項重復精度(RMS) 2) | ±0.08μm |
| Pitch 3) | ±30 / ±6.20 μrad/arcsec |
| Yaw 3) | ±30 / ±6.20 μrad / arcsec |
| Roll | N/A |
| 速度 (負載4Kg) 4) | <2000mm/s |
| 加速度 ((負載4kg) 5) | <20000mm/s^2 |
| 安全限位開關 (Safety) | Optical (Optrons) |
| 安全限位開關極性 | Pushed is closed |
| 限位開關電壓 | 5…24V |
| 負載導向信息 | |
| 類型 | 線性電機平移臺 |
| 電機類型 | LM3 |
| 電機設計類型 | 無鐵BLDC Motors |
| Bus Voltage | >300VDC |
| 負載 (中心放置) 6) | |
| 水平 | 30kg |
| 運動質量 7) | 1.2kg |
| 導向系統 | 循環直線軌道和載物滑塊單元 |
| 材料和外殼信息 | |
| 外部材料 | 鋁合金 |
| 外殼處理 | 黑色陽極氧化 |
| 環境壓力 | 標準大氣壓 |
| 工作溫度 | 20±2°C |
| 控制器 | |
| 推薦控制器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦驅動器 8) | ACS Products Line or 8SMC5-USB series |
| 推薦電源 9) | Request Standa support |
| 推薦通訊接口 12) | EtherCAT / RS232 / USB / TCP-IP |
| 線纜長度 | 2m |
| 差分輸出 10) | On request |
| 配件 | |
| 底板 | 不需要 |
| XY二維平移臺系統搭建 | 直接搭建,不需要安裝適配板 |
| Z軸豎直平移臺搭建 | 可以 |
| 外形尺寸 | |
| 移動臺尺寸 (W x L) | 140 x 140mm |
| 外形尺寸 (W x L x H) | 185 x 513 x 55mm |
| 公制或英制 | 公制 / 英制均可提供 |
| XY二維平移臺正交性 11) | 24/5 μrad/arcsec |
| 防護處理 13) | 基礎防護 |
| RoHS | 滿足 |
| 重量 | 6.75kg |
1) 默認為x4轉PPR-脈沖數/每轉，模擬SIN/COS編碼器接口
2)精度和雙向重復定位精度采用Zygo ZMI 501 Michelson laser interferometer測量計算
3) Pitch & Yaw 采用 11D-ALI-OL 電子自相關儀器測試,電子自相關儀11D-ALI-OL分辨率1μrad. 環境誤差1μrad.
4) 速度由編碼器限制和驅動器CUT-OF頻率以及導向系統限制.
5)加速度由驅動器“Peak Current, Motors` Peak Current and External Load (inertia)決定.
6)負載能力由導向系統決定.
7) 運動質量是系統常數m0,通常是沒有負載時的慣性。
8) 推薦的控制器和驅動器有助于發揮電動平移臺的性能.
9) 推薦的電源是根據用戶的占空比和負載來選擇.
10) 差分輸出接口,可提供主動或被動LCMv2接口.
11) 可組成正交性能更好的XY二維電動位移臺系統.
12) 標量控制可采用USB / TCP-IP / RS-232通訊接口,矢量控制建議采用EtherCAT接口。
13) 平移臺包括特殊封蓋,可用于灰塵嚴重或濕度較大的環境。
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