這款手動探針臺BU-4提供4''樣品真空卡盤和4'' x 4''滾珠軸承螺桿位移臺,帶有theta角控制,磁性不銹鋼頂部壓板平臺帶有升降功能。配備三豐長距離物鏡后非常適合FA整修和探針應用,可配備多種相機。

圖1:手動探針臺BU-4實物圖(4英寸卡盤)
二.6英寸/8英寸手動探針臺BU-6和BU-8
手動探針臺BU-6和BU-8采用超薄低剖面螺桿驅動位移臺,配備6''和8''樣品卡盤帶有theta調整,采用不銹鋼磁性頂部壓板平臺,可以升降。可選配日本三豐或Motic探針顯微鏡,相機等。

圖2:6英寸/8英寸手動探針臺BU-6和BU-8實物圖
三.8英寸手動探針臺BU8-17
8英寸手動探針臺BU8-17配備8''晶圓卡盤和14''壓板平臺,具有上下升降功能。

圖3:8英寸手動探針臺BU8-17實物圖












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