光束質量分析儀采用兩個互相垂直的狹縫來掃描光束。通過狹縫的光束被探測器積分并采樣，以確定光束質量和空間分布特性。通過分析和計算X、Y兩個方向的光強分布，可以得到光斑直徑、橢圓率、位置、中心點、3維輪廓、功率等參數。
特點：
·對光束質量和空間能量分布的高精確性分析
·集成了功率計
·既可測連續激光，又可測頻率高于10Hz的脈沖激光
·高動態范圍
·自動或手動的增益控制
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