光束整形器能夠?qū)⑷肷涞母咚构馐螢榫鶆虻钠巾敼獍撸步凶銎巾斆笔焦獍撸═op-hat)。光斑的形狀可以是圓形、正方形、矩形、線形、橢圓形等,能根據(jù)客戶需求來 定制。光斑的尺寸從十幾微米到幾千微米,光斑均勻,邊界陡峭。
光束整形器的形狀為平面鏡,直徑一般為一英寸,利用表面臺階狀的微結(jié)構(gòu)將打入的激光整形為均勻光斑,使其能量分布均勻。在激光加工的過程中,經(jīng)常需要將高斯光束整形為能量分布 均勻的平頂光斑,避免局部能量過高或者能量不足。光束整形器除了可以實(shí)現(xiàn)均勻光斑,還能將光斑的邊界變得陡峭,這種尖銳的過渡區(qū)能夠清晰的區(qū)分加工與未加工區(qū)域的邊界。
激光光束質(zhì)量(M2)的影響:
光束整形器對光束質(zhì)量比較敏感,一般要求入射激光的M2小于1.5,越小越好,即光束整形器適用于單模激光。如果是用于M2較大的激光器,則 光斑的均勻效果和邊界陡峭性都會變差。
常用的平頂光整形系統(tǒng)由一個(gè)激光器,一個(gè)平頂光整形元件和一個(gè)聚焦鏡組成。光束整形器所整形出來的光斑是在聚焦鏡的焦平面附近幾微米處得到,由于這個(gè)距離很小,所以在搭建光學(xué) 系統(tǒng)的時(shí)候需要很精細(xì)的調(diào)節(jié)。此外,光束整形器要求激光是垂直中心入射的,所以在調(diào)節(jié)的時(shí)候采用六軸調(diào)整架能更好的進(jìn)行調(diào)節(jié)。
















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