平整度低至 芯密度高達230kg/m3 單元尺寸小于3cm2 應用于電子顯微鏡的光學隔震平臺

美國TMC設計和制造適用于納米技術領域的建筑地面光學減震平臺，TMC光學隔震平臺支持超測量、儀器和制造。TMC提供多種系列的光學減震平臺和光學面包板，包括CleanTop光學平臺性能系列，CleanTop光學平臺系列，用剛性聯軸器拼接光學平臺，CleanTop光學面包板，Hybrid Honeycomb面包板，此外TMC還提供光學平臺支撐系統，適用于CleanTop光學平臺和面包板的各種支腿系統。有氣動、壓電、混合隔震或無額外隔震性能的支腿可供選擇。

TMC光學平臺長期以來一直堅持光學頂部的干式阻尼優(yōu)于油基阻尼器的理念。油的特性會隨著時間的推移而改變，而隱藏的油箱總是有被終用戶在改造系統時刺穿的危險。TMC光學隔震平臺的結構共震阻尼一直基于“寬帶阻尼"的。“調諧阻尼"或使用調諧質量阻尼器與頂部彎曲模式異相共震是一種危險的。首先，它假設阻尼器可以設置為與頂部的共震頻率一致。光學頂部的共震頻率將根據負載、負載分布、溫度甚至阻尼器本身而變化。因此，在實踐中，難以將阻尼器調諧到頂部的共震。此外，它還假設，當需要注意許多二次彎曲和扭曲模式時，只有低共震頻率才需要阻尼。更重要的是，采用調諧質量阻尼器來抑制結構共震的概念并不*。調諧阻尼僅在阻尼離散共震時才有效，并不適合用于阻尼寬帶結構共震。簡單來說，通過創(chuàng)建聯接的質量系統，調諧阻尼器將結構共震“分裂"成兩個共震。TMC光學減震平臺寬帶阻尼技術是阻尼光學頂部的有效。這種適用于整個感興趣的頻率范圍，在頂部的主要、次要和更高的共震頻率下耗散能量。此外，增加頂部的重量不會影響性能。TMC隔震臺的光學頂部具有的保證性能水平。此外，通過三級寬帶阻尼和三種環(huán)境選擇，TMC隔震平臺在性能水平的選擇方面具有很大的靈活性。標準阻尼水平提供的順應性水平比表中的水平高四倍。建議僅對非敏感應用采用低阻尼水平。

CleanTop光學隔震平臺的主要特點：

-防溢光學頂部

-全鋼光學頂部

-無油光學頂部

-對齊到螺紋孔陣列的蜂窩芯

-帶成型孔而不是鉆孔的輕質面包板

-與真空兼容的光學頂部

CleanTop光學減震平臺是光學頂部的另一項，TMC光學減震平臺已經在光學頂部行業(yè)創(chuàng)下了多個“"。CleanTop的具體特點如下：

-表面的液體溢出物受到限制，無法到達頂部的蜂窩芯

-芯經過的清潔和干燥，沒有殘留的螺紋切削油，從而不會釋放氣體

-干凈的螺紋孔使螺釘可以平穩(wěn)和輕松地插入

-可以輕松取出掉入孔中的小零件

-由于在頂部表面使用危險化學品時化學品不會滲入芯內，因此不小心接觸芯的化學品不會對健康造成危害

CleanTop光學減震平臺的應用領域：

-用于電生理學、IVF和成像的工作表面可實現更高的分辨率和更的測量。

-的消震系統創(chuàng)造了摩爾定律所要求的更安靜環(huán)境。

-CleanTop®光學平臺可提供從干涉儀到拍瓦激光器等光學系統所需的超穩(wěn)定支撐。

-適用于SEM、TEM和其他帶電光束工具的完整環(huán)境解決方案。

-的震動控制，可實現的測量。-微電子/微機電系統制造

可供應型號：研究級784系列，科學級783系列，實驗室級781系列，ClassOne 790系列，非磁性710系列，真空兼容730系列，78系列，77系列，75輕量級系列，拼接光學平臺，Hybrid Honeycomb面包板，Micro-g，LaserTable-Base