激光分束器的衍射達97%，幾乎沒有高級次的衍射光，具有非常的光斑分布。大多數普通的激光分束器使用普通的兩臺階設計，效率僅有80％到85％，同時有嚴重的高階衍射問題。它在某個不需要的高級次衍射光束中可能具有3％到5％的能量， 在某些應用中，這些多余的能量會產生不必要的激光加工點，這對許多客戶來說都是的問題。

分束器是一種基于多臺階的衍射光學元件（DOE），能夠以97％的效率將光束分成Double Spot 1×2或Quattro Spot 2×2點，并且幾乎沒有多余的殘余能量。

兩光束分束器（1×2）和2×2四光束分束器（Quattro Spot）在許多領域中都是具有非常大的用處，包括光刻，穿孔，切割和其他材料的處理應用。標準兩光束分束器和2×2四光束分束器具有高損傷閾值，分別提供81％和64％的效率。對于對激光能量敏感的應用以及對效率有高要求的客戶，Holo/Or開發了上面兩款衍射分束器。

分束器的特點：

-（?97％）

-可調分光比

-高激光損傷閾值

-提供193nm-10600nm波長。

以色列Holo / Or掃描式分束器的應用領域：

-光刻/薄膜激光加工

-平板結構

-精細切割/打標、穿孔。

上圖：兩光束分束器HEDS與標準分束器能量分布的比較

分束器使用多臺階（sub-aperture approach）進行設計的，因此它對中心對準敏感，并且對輸出的光斑形狀有影響。從上圖工作面能量分布剖面可以看出，激光分束器參數的光斑尺寸增大，光斑形狀變得略微橢圓。這種效應僅對于單模激光器（低M2）才會出現。 光點尺寸由以下公式定義：

兩光束高效分束器簡稱HEDS，對于較低的M2 lt;?4），由于公式中加了這個固定系數，所以聚焦光束將具有一定的橢圓度。對于更高的M2值，的系數影響很小，因此將變得對稱。

2×2四光束分束器HEQS 2×2對稱地增加M2，因此不會出現橢圓度，但是對于低M2的單模激光，光斑尺寸會增加

表1：標準分束器與HEDS/HEQS的比較

掃描式激光分束器（Scanning HEDS）

在2019年底，針對越來越多的激光掃描加工應用，Holoor又推出了升級版的掃描式激光分束器（Scanning HEDS）。掃描式HEDS可以將正負二階衍射的能量降低到<％，不到普通分束器的十分之一。 根據客戶的反饋，我們設計了heds的改進版本，這個版本針對雙線掃描進行了優化。即便是對于單模激光器，這些衍射能量也不會對掃描線的線寬產生影響。當用于掃描應用時，它們還可以保持衍射極限線寬，同時保持不低于95%的。

掃描效果對比：掃描式HEDS（左）與普通HEDS（右）

掃描式分束器的型號規格