| 原理:兩塊橫向振動的壓電晶片被振動桿連接起來,振動桿根據共振頻率做出橢圓形的位移 能量轉換過程:step1—電能轉換為振動 step2—振動轉換為線性運動 特征 ◆高分辨率:50nm或更小 ◆行程無限制 ◆物理轉換:無物理轉換 ◆寬的動態速率范圍:400mm/s~1um/s ◆更高的運動和處理時間:1ms ◆位置的穩定性:誤差在毫微米的級別 ◆簡潔和緊湊的系統設計 ◆摩擦部件的耐用性 參數詳情:
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原理:兩塊橫向振動的壓電晶片被振動桿連接起來
| 原理:兩塊橫向振動的壓電晶片被振動桿連接起來,振動桿根據共振頻率做出橢圓形的位移 能量轉換過程:step1—電能轉換為振動 step2—振動轉換為線性運動 特征 ◆高分辨率:50nm或更小 ◆行程無限制 ◆物理轉換:無物理轉換 ◆寬的動態速率范圍:400mm/s~1um/s ◆更高的運動和處理時間:1ms ◆位置的穩定性:誤差在毫微米的級別 ◆簡潔和緊湊的系統設計 ◆摩擦部件的耐用性 參數詳情:
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