產品簡介
型 號： TG2U 分 辨率： （mm） 加工定制： 是 放大倍率： 操作方式： 測量精度： μm 外形尺寸(長*寬*高)： mm
詳情介紹
| 【商品名稱】：TG2U型光刻機 | | 【生產廠家】：同志科技
【商品規格】：TG2U | | | 【商品簡介】： 產品特點：
TG2U型光刻機是制造中，大規模集成電路，傳感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻設備。
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| 【備 注】： TG2U型光刻機主要技術參數見下表：
項目 | 參數 | | 適用的掩模尺寸 | a.100X100X2－3mm；b.75X75X2—3mm；c.63X63X2—3(選購)； | | 適用的硅片尺寸 | φ35—75mm | | 光刻圖形線條 | 3-4μm, 最細可達2μm | | 掩模與硅片之間的相對位移范圍 | X/Y±2.5mm,(族轉) ±6° | | 承片臺(硅片)繞主軸旋轉 | 粗調360度,可微調 | | 承片工作臺綜合移動范圍 | X,Y合成φ75mm | | 承片臺的球座平面至掩模板面升降 | 0—7.5mm | | 曝光燈源 | GCQ200W超高壓汞燈，曝光波長，300―436nm | | 曝光系統能量不低于 | 7mw | | 曝光系統的照度均勻度在φ75mm范圍內 | ±5％ | | 顯微鏡的照明波長 | ≈545nm | | 曝光時間控制范圍 | 0.1秒—99分 | | 雙目顯微鏡的放大倍數 | a.目鏡共二種:10X,16X；b.平視場物鏡共三種:6X,9X,15X；c.合成放大倍率:60X—240X； | | 真空接觸壓力 | ≥0.7kgf | | 裝箱尺寸 | 1000X850X980mm(2只) | | 裝箱重量 | 200kg | 注：用戶有何特殊要求可協商。 |
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