LSX-213采用高能量DUV（深紫外）213nm固 態(tài)Nd:YAG激光，精密的樣品顯微觀察成像系統(tǒng)，高精度樣品工作臺(tái)以及功能*的軟件系統(tǒng)，為分析工作者和分析樣品之間建立了直接的“互感”橋梁。 LSX-213把固態(tài)激光的方便，堅(jiān)固耐用和DUV激光的高效燒蝕性能結(jié)合，是半導(dǎo)體、地質(zhì)、環(huán)境、生物、金屬、刑偵等領(lǐng)域固體進(jìn)樣的。
激光系統(tǒng)

• 213 nm固態(tài)Nd:YAG激光、激光能量：4.5mJ/脈沖
• 輸出能量：0-99%
• 脈沖寬度：5ns
• 脈沖頻率：1-20HZ，Q開關(guān)控制
• 燒蝕斑點(diǎn)：5μm-300μm ：10-200μm（軟件光圈控制），所有光斑均具有相同的能量密度
• 密閉、充氮保護(hù)的激光器、機(jī)械和熱隔離的激光光路。穩(wěn)定、可靠

光學(xué)觀察和成像系統(tǒng)：

• 計(jì)算機(jī)控制的60-600倍顯微成像，自動(dòng)變焦的數(shù)碼成像
• ＜5μm的光學(xué)分辨率
• 高亮度LED陣列照明，即使在放大倍數(shù)下也能獲得的觀察效果
• 不管是反射光還是透射光，亮度0-99%可調(diào)
• 配置偏振鏡系統(tǒng)
• 密閉、機(jī)械和熱隔離成像系統(tǒng)，成像的穩(wěn)定，清晰和長壽命

取樣系統(tǒng)：

• 高精度X-Y-Z三維移動(dòng)樣品臺(tái)，0.25μmμ步進(jìn)分辨率
• 配置高精度質(zhì)子流量計(jì)，可選氮?dú)庾鳛檩d氣，以提高分析靈敏度
• 標(biāo)配樣品室：52mm(φ)×50mm(H),另外多種規(guī)格可選
• 獨(dú)立的取樣室設(shè)計(jì)，最小的空氣殘留和的沖洗時(shí)間
• 可拆式石英樣品室窗，清洗和樣品維護(hù)方便、簡(jiǎn)單
• 配置微小薄片樣品架
• 可伸出的樣品室，樣品更換方便、安全、樣品室復(fù)位后可自動(dòng)吹掃

樣品池：

• 采用堅(jiān)硬牢固的高密度聚甲醛樹脂材料（性質(zhì)類似于TFM），對(duì)樣品沒有吸附，
• 具有良的樣品傳輸效率，減少樣品傳輸引起的分流效應(yīng)
• 樣品室內(nèi)的氣體已“湍流”的形式傳輸樣品，保證樣品在樣品池內(nèi)的任何位置都具有均一的氣體敏感性和均一的沖洗完整性

軟件系統(tǒng)：
Digilaz Ⅱ 軟件：

• Windows 2000、XP、NT操作系統(tǒng)，可安裝在ICP-MS（ICP）的計(jì)算機(jī)上的激光控制軟件與ICP-MS（ICP）同步
• 同一屏幕顯示激光所有狀態(tài)及參數(shù)，樣品臺(tái)位置，載氣流量和照明控制等
• “Map”功能可觀察整個(gè)樣品區(qū)域，并導(dǎo)視微區(qū)位置
• 多種燒蝕模式：包括單點(diǎn)、多點(diǎn)、直線、分段直線、光柵式掃描和深度剖面等，滿足各種樣品形狀和分析要求
• 測(cè)量燒蝕斑點(diǎn)或樣品表面的大小
• 控制聚焦和樣品移動(dòng)
• 圖像的捕獲和注解，在線幫助、維修、維護(hù)數(shù)據(jù)庫
• GeoPro數(shù)據(jù)處理軟件（選擇件）

技術(shù)規(guī)格：

• 儀器大小：69cm×46cm×51cm
• 數(shù)量：約75kg
• 電源要求：100-240 VAC
• 自帶循環(huán)冷卻水系統(tǒng)和安裝推車