- OLS4500為您帶來的解決方案
- OLS4500實現了無縫觀察和測量
- 跟從向導畫面的指示， 可輕松操作的6種SPM測量模式
- 裝配了激光掃描顯微鏡，靈活應對多種樣品
- 可用于傳統的線粗糙度測量，也可用于信息量較多的面粗糙度測量
- OLS4500的顯微鏡技術
OLS4500為您帶來的解決方案
實現納米級觀測的新型顯微鏡。不會丟失鎖定的目標。
配有涵蓋了低倍觀察到高倍觀察的4種物鏡，并在電動物鏡轉換器上裝配了SPM單元。可以無縫切換倍率和觀察方法，不會丟失觀察對象。此外，該款顯微鏡可以進行納米級觀測。涵蓋了低倍到高倍觀察，并配有多種觀察方法可以迅速發現觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此，*光學技術打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法，可以容易的發現觀察對象。此外，對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象，還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉（DIC）
觀察中，可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
| 主機 規格 | ||||
| LSM部分 | 光源、檢出系統 | 光源：405 nm半導體激光、檢出系統：光電倍增管 | ||
| 總倍率 | 108～17,280X | |||
| 變焦 | 光學變焦：1～8X | |||
| 測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x：3σn-1=0.04μm、20x：3σn-1=0.1μm | |
| 正確性 | 測量值的±2%以內 | |||
| 高度測量 | 方式 | 物鏡轉換器上下驅動方式 | ||
| 行程 | 10mm | |||
| 內置比例尺 | 0.8nm | |||
| 移動分辨率 | 10nm | |||
| 顯示分辨率 | 1nm | |||
| 重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x：σn-1＝0.012μm、20x：σn-1＝0.04μm | |||
| 正確性 | 0.2+L/100 μm以下（L＝測量長度） | |||
| 彩色觀察部分 | 光源、檢出系統 | 光源：白色LED、檢出系統：1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
| 變焦 | 碼變焦：1～8X | |||
| 物鏡轉換器 | 6孔電動物鏡轉換器 | |||
| 微分干涉單元 | 微分干涉滑片：U-DICR、內置偏振光片單元 | |||
| 物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
| Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
| XY載物臺 | 100 x 100 mm（電動載物臺） | |||
| SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式（KFM）*、磁力模式（MFM）* | ||
| 位移檢出系統 | 光杠桿法 | |||
| 光源 | 659 nm半導體激光 | |||
| 檢出設備 | 光電檢測器 | |||
| 掃描范圍 | X-Y： 30 μm x 30 μm、Z： 4.6 μm | |||
| 安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調整專用工裝夾具預對位，更換支架時無需光學調整。 | |||
| 系統 | 總重量 | 約440 kg（不包含電腦桌） | ||
| I額定輸入 | 100－120 V/220－240 V、600 VA、50/60 Hz | |||
*該功能為選項功能。
| 物鏡 規格 | ||||
| 型號 | 倍率 | 視場 | 工作距離（W.D.） | 數值孔徑（N.A.） |
| MPLFLN5X | 108-864X | 2,560-320μm | 20.0mm | 0.15 |
| MPLAPON20XLEXT | 432-3,456X | 640-80μm | 1.0mm | 0.60 |
| MPLAPON50XLEXT | 1,080-8,640X | 256-32μm | 0.35mm | 0.95 |
| MPLAPON100XLEXT | 2,160-17,280X | 128-16μm | 0.35mm | 0.95 |
| 微懸臂 規格 | |||||||||
| 用途 | 型號 | 類型 | 探針數量 | 微懸臂 | 探針 | 材質 | 金屬膜 涂層 | ||
| 共振頻率 (kHz) | 彈簧常數 (N/m) | 高度 (μm） | 前端半徑 (nm） | 探針／ 微懸臂 | 探針涂層／ 反射涂層 | ||||
| 動態模式／ 相位模式 | OMCL-AC160TS-C3 | 標準硅膠 | 24 | 300 | 26 | 14 | 7 | Si / Si | 無 / Al |
| OMCL-AC160BN-A2 | 高縱橫比硅膠 | 12 | 300 | 42 | 9 | 8 | Si / Si | 無／無 | |
| OMCL-AC240TS-C3 | 低彈簧常數硅膠 | 24 | 70 | 2 | 14 | 7 | Si / Si | 無／Al | |
| 接觸模式 | OMCL-TR800PSA-1 | 標準氮化硅 | 34 | 73 / 24 | 0.57 / 0.15 | 2.9 | 15 | SiN / SiN | 無／Au |
| 表面電位模式 | OMCL-AC240TM-B3 | 電氣測量專用硅膠 | 18 | 70 | 2 | 14 | 15 | Si / Si | Pt/Al |
• 微懸臂、探針的機械特性及尺寸均為代表值。
• 微懸臂非常小，請注意不要傷到眼睛或不小心吞咽。
• 電流模式、磁力模式中使用的微懸臂的詳細信息，請咨詢經銷商。
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