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光柵的構造,光柵尺的構造和種類,光柵讀數頭-光柵的構造光柵是利用光的透射、衍射現象制成的光電檢測元件,它主要由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。

光柵讀數頭由光源、透鏡、指示光柵、光敏元件、驅動線路等組成;常見結構按光路分有分光讀數頭、垂直入射讀數頭、反射讀數頭等;其作用是將莫爾條紋的光信號轉換成電脈沖信號。

光柵讀數頭又叫光電轉換器,它把光柵莫爾條紋變成電信號。如圖6-9 所示為垂直入射讀數頭。讀數頭由光源、聚光鏡、指示光柵、光敏元件和驅動電路等組成。

光柵種類較多。根據光線在光柵中是透射還是反射分為透射光柵和反射光柵。前者是在透明的光學玻璃板上,刻制平行等距的密集線紋,利用光的透射現象形成光柵。后者一般用不透明的金屬材料,如不銹鋼板或鋁板上刻制平行等距的密集線紋,利用光的全反射或漫反射形成光柵。透射光柵分辨率較反射光柵高,其檢測精度可達1μm以上。從形狀上看,光柵分為圓光柵和長光柵。前者用于角度測量,后者用于檢測直線位移。兩者工作原理基本相似。
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