實(shí)際測(cè)量尺寸

l  300*200*180(mm)

測(cè)量精度

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

660*560*960

整機(jī)重量

180kg

機(jī)械本體

底座，立柱：濟(jì)南花崗巖精度00級(jí)，平面度3μm,物理穩(wěn)定

導(dǎo)軌：FY- V型高平衡滾子交叉導(dǎo)軌

光柵尺： 新天精密閉合式光柵尺,分辨率1微米

Z軸驅(qū)動(dòng)方式：  手動(dòng)對(duì)焦  

光學(xué)系統(tǒng)

CCD

日本索尼芯片彩色工業(yè)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)

鏡頭

可連續(xù)變倍高清鏡頭，光學(xué)放大倍率0.7×-4.5×

表面光

美國進(jìn)口燈珠LED環(huán)形冷光源，光源穩(wěn)定，壽命高

輪廓光

美國進(jìn)口燈珠LED圓形冷光源，光源穩(wěn)定，壽命高

軸承配件

日本NSK高速軸承

日本NSK高速軸承

限位開關(guān)件

日本歐姆龍點(diǎn)限位開關(guān)

日本歐姆龍點(diǎn)限位開關(guān)

聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

日本米思米聯(lián)軸器

軟件系統(tǒng)

智能自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)

0. 1微米分辨率三軸DC300解析系統(tǒng)

高清晰SDK2000視頻采集系統(tǒng)

附件

保養(yǎng)手冊(cè)

出廠檢驗(yàn)報(bào)告

1微米分辨率校準(zhǔn)片

各適用連接線