實際測量尺寸

l  300*200*180(mm)

測量精度

（3+L/200）μm

外形尺寸（mm）

660*560*960

整機重量

180kg

機械本體

底座，立柱：濟南花崗巖精度00級，平面度3μm,物理穩定

導軌：FY- V型高平衡滾子交叉導軌

光柵尺： 新天精密閉合式光柵尺,分辨率1微米

Z軸驅動方式：  手動對焦  

光學系統

CCD

日本索尼芯片彩色工業數字攝像機

鏡頭

可連續變倍高清鏡頭，光學放大倍率0.7×-4.5×

表面光

美國進口燈珠LED環形冷光源，光源穩定，壽命高

輪廓光

美國進口燈珠LED圓形冷光源，光源穩定，壽命高

軸承配件

日本NSK高速軸承

日本NSK高速軸承

限位開關件

日本歐姆龍點限位開關

日本歐姆龍點限位開關

聯軸器

日本米思米聯軸器

日本米思米聯軸器

軟件系統

智能自動測量系統

0. 1微米分辨率三軸DC300解析系統

高清晰SDK2000視頻采集系統

附件

保養手冊

出廠檢驗報告

1微米分辨率校準片

各適用連接線