實(shí)現(xiàn)了比以往機(jī)型提高20倍以上的高靈敏度。配合株式會(huì)社日立*科學(xué)獨(dú)自開(kāi)發(fā)的高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器[Vortex]和[精度管理型測(cè)量軟件]后，較以往機(jī)型可平均縮短1/10的測(cè)量時(shí)間。

安裝了不含液氮的15萬(wàn)CPS高幀率檢測(cè)器（Vortex），擁有了遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)以往使用液氮檢測(cè)器時(shí)的靈敏度及分辨率。

通過(guò)一枚復(fù)合的通用濾波器能夠一次性將RoHS管理的5種元素測(cè)量。相比測(cè)量時(shí)間短的EA1200VX，能夠進(jìn)一步縮短測(cè)量時(shí)間。

由于可以在真空環(huán)境下測(cè)量，所以測(cè)量范圍擴(kuò)大到Na～U。（輕元素測(cè)量選配）。也可測(cè)量氯的高靈敏度。

采用1 mmΦX射線(xiàn)光束，進(jìn)行印刷基板等任何微小部分的修正、定量。

僅僅通過(guò)最多可進(jìn)行12個(gè)樣品連續(xù)測(cè)量的自動(dòng)進(jìn)樣器，能實(shí)現(xiàn)不同測(cè)定條件下樣品的連續(xù)測(cè)量。當(dāng)然，430×320 mm的大型樣品也可直接進(jìn)行測(cè)量。