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元素范圍    13Al to 92U

電源    110 V / 230 V 60 Hz / 50 Hz

分析層數(shù)&元素?cái)?shù)量

•    自定義（在元素范圍內(nèi)）

•    自定義鍍層結(jié)構(gòu),含合金鍍層

X射線激發(fā)

•    50 kV, 1.2 mA (60 W) 高壓發(fā)生器

•    Be窗微聚焦W陽(yáng)極靶射線管(Mo陽(yáng)極靶射線管可選)

探測(cè)器

•    25 mm2 SDD探測(cè)器Peltier電制冷

•    能量分辨率140 eV  (FWHM for MnKα )

一次綠光片(選配件)

•    多至5位自動(dòng)切換一次濾光片

準(zhǔn)直器

•    單準(zhǔn)直器: 0.1 x 0.4 mm, 0.1 x 0.7 mm, 0.1 mm, 0. 3 mm, 0.5 mm,

0.7    mm Ø

•    8位程控交換準(zhǔn)直器系統(tǒng)

0.5    x 0.05 mm, 0.1 mm x 0.3 mm, 0.05 mm x 0.25 mm, 0.1 mm,

0.2    mm, 0.3 mm, 0.5 mm, 1 mm Ø (選配件)

數(shù)字脈沖處理器

•    4096 CH 數(shù)字多道處理器

•    含死時(shí)間校正和脈沖累積消除功能的自動(dòng)信號(hào)處理

計(jì)算機(jī)/顯示器/操作系統(tǒng)

•    In Pentium G2030, 2G RAM, 500G HD, 相當(dāng)或更好

•    19“ TFT彩色平板顯示器, zui小的屏幕分辨率 1400 x 1050 px

•    MicrosoftTM  Windows7

CCD

•    彩色CCD，400 x 400 px

•    20 倍光學(xué)放大

•    電子十字線帶可讀和準(zhǔn)直器范圍顯示

工作環(huán)境

•    64.4°F (18°C) 到95°F (35°C),相對(duì)濕度至 98% RH, 無冷凝水

•    空調(diào)環(huán)境

MAXXI6系列 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀、鍍層膜厚儀   

MAXXI6系列 X射線熒光鍍層測(cè)厚儀、鍍層膜厚儀   

  
Z軸行程

•    電動(dòng)Z軸,zui大至170 mm

XY程控樣品臺(tái)(選配件)

•    帶鐳射定位的易載入樣品臺(tái)

•    300 mm (W) x 300 mm (D)

•    行程200 mm (W) x 200 mm (D)

•    重復(fù)精度 +/- 20 μm

•    zui大承重 3 kg

zui大樣品尺寸

•    500 mm (W) x 450 mm (D) x 170 mm (H)

外觀尺寸

•    626 mm (W) x 625 mm (D) x 756 mm (H)

•    重量: 75 kg