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元素范圍    13Al to 92U

電源    110 V / 230 V 60 Hz / 50 Hz

分析層數&元素數量

•    自定義（在元素范圍內）

•    自定義鍍層結構,含合金鍍層

X射線激發

•    50 kV, 1.2 mA (60 W) 高壓發生器

•    Be窗微聚焦W陽極靶射線管(Mo陽極靶射線管可選)

探測器

•    25 mm2 SDD探測器Peltier電制冷

•    能量分辨率140 eV  (FWHM for MnKα )

一次綠光片(選配件)

•    多至5位自動切換一次濾光片

準直器

•    單準直器: 0.1 x 0.4 mm, 0.1 x 0.7 mm, 0.1 mm, 0. 3 mm, 0.5 mm,

0.7    mm Ø

•    8位程控交換準直器系統

0.5    x 0.05 mm, 0.1 mm x 0.3 mm, 0.05 mm x 0.25 mm, 0.1 mm,

0.2    mm, 0.3 mm, 0.5 mm, 1 mm Ø (選配件)

數字脈沖處理器

•    4096 CH 數字多道處理器

•    含死時間校正和脈沖累積消除功能的自動信號處理

計算機/顯示器/操作系統

•    In Pentium G2030, 2G RAM, 500G HD, 相當或更好

•    19“ TFT彩色平板顯示器, zui小的屏幕分辨率 1400 x 1050 px

•    MicrosoftTM  Windows7

CCD

•    彩色CCD，400 x 400 px

•    20 倍光學放大

•    電子十字線帶可讀和準直器范圍顯示

工作環境

•    64.4°F (18°C) 到95°F (35°C),相對濕度至 98% RH, 無冷凝水

•    空調環境

MAXXI6系列 X射線熒光鍍層測厚儀、鍍層膜厚儀   

MAXXI6系列 X射線熒光鍍層測厚儀、鍍層膜厚儀   

MAXXI6系列 X射線熒光鍍層測厚儀、鍍層膜厚儀   
Z軸行程

•    電動Z軸,zui大至170 mm

XY程控樣品臺(選配件)

•    帶鐳射定位的易載入樣品臺

•    300 mm (W) x 300 mm (D)

•    行程200 mm (W) x 200 mm (D)

•    重復精度 +/- 20 μm

•    zui大承重 3 kg

zui大樣品尺寸

•    500 mm (W) x 450 mm (D) x 170 mm (H)

外觀尺寸

•    626 mm (W) x 625 mm (D) x 756 mm (H)

•    重量: 75 kg