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六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,它的分子量為,在20℃和 MPa時密度為/m3,約為空氣密度的5倍。六氟化硫在常溫常壓下為氣態,其臨界溫度為℃,三相點溫度為-℃,常壓下升華點溫度為-℃。六氟化硫分子結構呈八面體排布,鍵合距離小、鍵合能高,因此其穩定性很高,在溫度不超過180℃時,它與電氣結構材料的相容性和氮氣相似。
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