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　　1、工作條件

　?。?） 環(huán)境溫度： 0 - 40℃；

　　（2） 相對濕度： 20-50%；

　?。?）適用電源規(guī)格：380V ( AC )，50Hz；

　　2、技術(shù)參數(shù)

　　pecvd等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備主要由真空室、反應(yīng)源、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、安裝機臺及電控系統(tǒng)等部分組成；

　　技術(shù)指標(biāo)：

　?。?）極限真空：5X10-5Pa

　?。?）真空室尺寸 直徑400mm高350mm前開門結(jié)構(gòu) 漏率8*10-8Pa/l/s。

　?。?）★射頻電源

　　輸出頻率： (±%)；允許輸出功率：600W。

　　負載匹配調(diào)諧方式： 自動跟蹤調(diào)諧;

　　調(diào)諧電容顯示方式： 主機數(shù)字顯示電容位置;

　　控制精度： % （恒功率控制）。

　?。?）真空計 復(fù)合真空計(1高1低)測量范圍 大氣-1*10-5Pa。

　?。?）系統(tǒng)操作，能控制旋轉(zhuǎn)基片加熱臺的溫度、樣品臺的旋轉(zhuǎn)、樣品擋板的開

　　啟；分子泵、機械泵及電磁閥門的開啟；加熱烘烤及照明。

　　（6）相序保護系統(tǒng) 380V相序保護器(相序.缺相保護)。

　?。?）Pecvd反應(yīng)源 方式;噴淋式 尺寸;6英寸。

　?。?）樣品臺；室溫-800度 輸入220V 輸出0-36V。

　?。?）4路質(zhì)量流量計 準(zhǔn)確度1% , 線性±1% ,工作壓差-MPa。

　　（10）★陶瓷薄膜電容變送器(壓力薄膜規(guī))壓力范圍0-100kPa。

　　（11）機械泵 抽速不小于8L/s極限壓力小于3Pa；

　?。?2）★分子泵 品牌 抽速600L/s 安裝接口CF150轉(zhuǎn)速24000轉(zhuǎn)/min

　　極限壓力6*10-7 。

　?。?3）★羅茨泵 抽速30L/s 極限壓力 電機功率。

　　（14）旁抽閥 采用角閥+碟閥。

　　（15）插板閥CF150金屬密封。

　　（16）水冷循環(huán)機 制冷量大于1500W。