具有亞微米級(jí)超低速運(yùn)行能力的線(xiàn)性平臺(tái)，
恒速運(yùn)行，靜態(tài)精度，定位精度和高剛性，使得可以更換壓電平臺(tái)。
請(qǐng)聯(lián)系我們以定制階段，
平穩(wěn)的操作和高的剛性使研究光學(xué)掃描（掃描）階段/零件加工/檢查/激光加工/生物相關(guān)設(shè)備成為可能。速度也很高，因此可以提高速度。
相關(guān)設(shè)備成為可能。速度也很高，因此可以提高速度。
規(guī)格書(shū)
| 行程長(zhǎng)度 | 毫米 | 300 |
|---|---|---|
| 舞臺(tái)頭 | 毫米 | 430 |
| 編碼器分辨率 | 微米 | 1，0.5，0.1，0.05，0.01，0.005 |
| 重復(fù)性 | COUNT個(gè) | ±1 |
| 加速度 | 米/秒2 | 8 |
| 速度 | 米/秒 | 1.5 |
| 裝載量 | 公斤 | 45.5 |
| 運(yùn)動(dòng)部件質(zhì)量 | 公斤 | 4.7 |
| 舞臺(tái)總質(zhì)量 | 公斤 | 10.6 |
| 直線(xiàn)度/平面度 1 | 微米 | 2/25毫米 |
| 原點(diǎn)/限位開(kāi)關(guān) | 非接觸式磁簧開(kāi)關(guān) | |
| 原點(diǎn)開(kāi)關(guān)位置 | 中心 | |
| 軸電機(jī)型號(hào) | S160D |
※1 ?誤差（μm）/每25mm移動(dòng)
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