項目

　　Item

　　規格

　　Details

　　X射線管

　　X-ray generator

　　鉬/銠/ 鎢/ 銀 （可選），50kV，1mA Mo / Rh / W / Ag Target (Option), 50kV, 1mA

　　探測器

　　Detector

　　SDD（硅漂移探測器） SDD (Silicon Drift Detector)

　　分辨率

　　Resolution limit

　　125±5eV 125eV (Mn Kα)

　　X射線焦斑

　　X-ray coverage

　　聚光纖(50～100μm) Poly capillary optics (50 ~ 100μm)

　　（可調） （adjustable）

　　測量范圍

　　Measuring range

　　鋁（13）～ 鈾（92） Al (13) ~ U (92)

　　樣本類型

　　Sample type

　　固體/液體/粉末，多層 Solid / Liquid / Powder, Multi-Layer

　　樣品室尺寸

　　Size of sample chamber

　　390×410×100mm（寬×深×高） 390 × 410 × 100 mm(W × D × H)

　　主要特征

　　Key features

　　- 自動/手動平臺 - 常規鍍層厚度檢測，銠，鈀，金，銀，錫，鎳- 可測多層薄膜的鍍層厚度（多達5層）

　　- Auto / Manual Stage Mode - Plating thickness measurement general, Rh, Pd, Au, Ag, Sn, Ni

　　- Film thickness measurement of multilayer thin films (up to 5Layer).

　　攝像頭

　　Camera properties

　　40～80倍 40 ~ 80 X

　　安全性

　　safety

　　3點聯鎖 3point interlock

　　報告類型

　　Type of report

　　Excel，PDF/輸出自定義表單 Excel, PDF / output Custom form