六軸并聯定位臺115.25采用德國六自由度并聯機器人hexapod提供六軸并聯運動機器人式定位,提供六自由度操縱能力,具有更緊湊結構,更高剛性,更低的運動質量和更高的響應速度。
六軸并聯定平臺115.25采用模塊化設計,其尺寸和強度可以適應不斷變化的要求,從幾厘米到幾乎一米的行程都可提供,并具有納米分辨率。
六軸并聯定位臺115.25規格參數分辨率<1nm
大負載：250g (0.25N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根據用戶要求）
大垂直載荷Fv:2.5N
大水平力Fh:1.25N
定位器尺寸:115 x 101.4 x 25 mm3
重量:約400克
行程范圍：
x- 11 mm
y -11 mm
z -5 mm
Θx：18 °
Θy：20°
Θz：37 °
帶納米傳感器-S閉環
小增量（x，y，z）：1nm
小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad
重復精度(xyz全行程）：±200 nm
重復精度(Θxyz全行程）：±10urad
重復精度（1mm行程@xyz)：±15 nm
材料和真空可選項目
納米級距離編碼傳感器
非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
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