納米壓電掃描臺,Piezo Scanning Stage是專業為納米掃描和納米定位掃描設計的平行平面納米壓電掃描器,廣泛用于在開放或閉環系統中光學元件納米掃描定位和掃描探針器件的掃描納米定位應用。納米壓電掃描臺配備了電容位移傳感器，進行數字閉環控制。它提供了高精度和線性運動，消除了對壓電陶瓷的蠕變效應。其電容測量部分是基于TDC（時間數字轉換器），所有的電子元件安裝在離傳感器zui近的位置。該種設計降低了噪音，實現了高速位移控制。
平面平行特點
雙電容傳感器反饋技術
低頻噪聲電阻
補償壓電陶瓷的蠕變效應。、、
掃描行程是40µM
超高分辨率為0.1nm
設計緊湊，重量輕，剛度高
適用于通用應用
顯微鏡應用的理想掃描臺
還提供真空
活動的中心部件掛在柔性彈簧上,由壓電驅動器驅動，確保了應用的高剛度和高穩定性。為運動提供了的線性和平整度，與經典的采用壓電陶瓷管掃描臺相比,可步進可提供球形掃描面，還具有更高機械強度。
使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000，或是NSpec軟件控制納米壓電掃描器。
范圍包括：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
微電子學應用
微操作等。
產品規格
XY移動距離, µm 40 x 40
Z軸運動距離, µm 5
諧振頻率 XY, kHz 5
諧振頻率 Z, kHz 50
分辨率（閉環）, nm 1
分辨率（開環）,nm 0.1
整個范圍內的角度傾斜, nm <0.01°
zui大掃描速度，, Hz (行/秒) 50
基本樣品重量, g 50
尺寸, mm 70 x 62 x 32.2
材料 鋁
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