激光對準儀是激光光束準直的激光準直儀,激光光束準直儀器和激光光束對準儀器,以精確到0.1µm的分辨率實時測量光束位置和角位移，同時顯示功率，用于準直連續(xù)激光,
激光對準儀主要應用
 
1.檢查滑軌誤差
以高精度測量機械裝置的公差和誤差。探頭安裝在一個行進托架上，用一個激光器同時對準探測器來確定平直光路。托架沿著滑軌移動，測量兩軸線上垂直于運動方向的光束位置和角度變化。位置和角度讀數(shù)的任何變化都是測量的滑軌或軸承，或是兩者上都存在的缺陷,畸變或形變。
 
 2. 檢測準直
 使用可以測得光束相對于外箱或外管的漂移，可用于校對激光束想相對于激光外殼的位置。同時還可以監(jiān)測光束功率波動。同時使用位置和角度的屏幕，可以輕易地跟蹤光束，同時圖表功能項會一直記錄和儲存數(shù)據(jù)。
 3.   鉸接臂的對準
 4.   激光器和激光管的對準
 5.   對準晶圓檢測的激光系統(tǒng)

特點
同時測量光束位置，角位移，功率
提供ActiveX組件植入用戶的軟件
提供 兩種不同的PSD（位置靈敏探測器探頭）
有多個設備操作功能
數(shù)據(jù)通過RS232接口直接記錄到Excel文件中
常規(guī)參數(shù)
探頭是兩個PSD，分束器和透鏡組件組成
 PSD尺寸    9mmx9mm （標準）   4mmx4mm（可選）
 類型        雙軸硅樹脂，無玻璃蓋
 可用光束尺寸范圍   50µm to Ø8mm 50µm to Ø3mm
 更新率     在500Hz數(shù)字濾波器，zui大是150hz
 光譜范圍             350-1100nm
 位置測量范圍      8mm 直徑，zui大      3mm直徑，zui大
 功率范圍           10µw-10mw，濾波器功率準確度（）±5%
 透鏡類型              平凸透鏡，AR涂層。
 分束器              50:50的AR涂層，非極化
 溫度范圍                0°C - 35°C
 可選配件               ND濾波器，發(fā)動機罩
 （）為了充分保證標定精度，可能必須使用衰減光學濾波器（ND）來操作過超過 1mW /PSD @ 633nm 的光束
 
 透鏡焦距可變化的兩個主要型號：
 對準儀  50

 規(guī)格
 透鏡焦距長度       50mm
 位置分辨率       50Hz數(shù)字濾波器+平均，高清到0.1µM
 定位精度          ±15µm 邊緣到邊緣（±8µm）
 角度測量范圍          180 mRad (90 mRad)
 角分辨率 0.02 mRad (0.01 mRad)
 測角精度 0.5 mRad邊緣到邊緣（0.01 mRad）
 重量                140 Gr，不包括電纜
 
 對準儀  100

 規(guī)格
 透鏡焦距長度       100mm
 位置分辨率    50Hz數(shù)字濾波器+平均，高清到0.1µM
 定位精度          ±15µm 邊緣到邊緣（±8µm）
 角度測量范圍        80 mRad (40 mRad)
 角分辨率為 0.01 mRad (0.006 mRad)
 測角精度 0.25 mRad邊緣到邊緣（0.15 mRad）
 重量              180 Gr，不包括電纜
 注：所有的值（在括號中）都是4X4mm PSD版本的值
 
 測量能力
 位置

 實時顯示X，Y光束質(zhì)心。
 主要功能：設置相對中心，執(zhí)行縮放，警告設置，平均。
 
 角度

 實時測量光束角偏差。
 主要功能：設置相對中心，執(zhí)行縮放，警告設置，平均。
 
 數(shù)字

 以大號數(shù)字顯示顯示位置或角度，方便從遠距離查看。
 
 圖表

 隨時間顯示X、Y位置，或X、Y角的變化，有自動縮放和保存選項。
 
 功率

 由模擬和數(shù)字顯示器顯示功率。
 主要特點：改變測量單元，加載濾波器文件，抑制環(huán)境光。顯示每個PSD的功率。
功率圖

 隨時間顯示功率變化，用于位置傳感器和角度傳感器，具有自動縮放和保存選項。
 
 zui低的軟件和硬件要求：
 奔騰4，2.4GHz，512MB 內(nèi)存，15MB 硬盤，1×CD ROM、VGA 8MB 1024x768分辨率，16位，1個USB 2.0端口，Windows XP