儀器特點：

稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；

源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；

4路校準氣入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；

55個按鍵薄膜鍵盤；

24位數字輸入/輸出，

2路串行通訊輸出，RS232輸出；

大而明亮的彩色顯示器；

外部PC鍵盤接入端口；

并行打印端口；

空氣源控制端口。

性能參數：

稀釋入口：1路標準；

源氣入口：4路標準，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重復：≤±0.15%FS；

線    性：≤±0.5%FS；

入口壓力：20-35 PSIG；

內置臭氧發生器參數：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

紫外燈溫度：50±0.1℃。

內置紫外吸收光度計參數：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

零點漂移：<±1ppb/24小時或30天；

流速：1.0 LPM；

模擬輸出：0-0.1/1/5V。

內置稀釋爐參數：

材質：玻璃或特氟龍；

尺寸：1個稀釋管；

可調溫度：高于環境溫度5度到65度；

溫度精度：<±0.1℃；

操作：55個按鍵，鍵盤或串行端口；

校準定義：20個工廠定義流路；

校準類型：氣體稀釋，臭氧，GPT；

氣體定義：2個稀釋氣，20個源氣；

自動校準：20個程序驅動定時，

          7天事件，用戶可自定義；

數字輸入/輸出：24位標準輸出；

輸出類型：觸點觸發或TTL邏輯；

通訊：RS232，或以太網TCP/IP。