工作原理 利用激光的相干性，以激光波長(zhǎng)為基準(zhǔn)，測(cè)量干涉條紋的變化來達(dá)到測(cè)位移的目的。主要裝置為邁克爾遜干涉儀。其工 作原理如圖1.15.1所示。圖中A為激光器。 它作為光源，產(chǎn)生一沄波長(zhǎng)的激光，經(jīng)透鏡組成的準(zhǔn)直系統(tǒng)后，投射到分束器C上。一部分透過C入射到反射鏡M2并被反射 鏡M2反射后，經(jīng)C再次反射，投射光電接 收器B；另一部分經(jīng)C反射到反射鏡M1再被M1反射后也入射到B上。因而投射到B上的兩束光產(chǎn)生干涉，由光電接收器B接收到峰值的干涉條紋，并經(jīng)B轉(zhuǎn)換為電 脈沖信號(hào)。由于M2固定在被測(cè)物E上，而E可以左右移動(dòng)，當(dāng)E發(fā)生移動(dòng)時(shí)，干涉條紋產(chǎn)生位移，光電接收器接收到的光強(qiáng)發(fā)生變化，使電脈沖個(gè)數(shù)發(fā)生變化，因此經(jīng)計(jì)數(shù)系統(tǒng)計(jì)數(shù)后，便可知對(duì)應(yīng)的位移變化。圖中D為M2的虛像。

設(shè)激光光強(qiáng)為I0，分束器的反射系數(shù)和透射系數(shù)都為1/2,則光電接收器接收到的總光……

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