我們所知道的電離真空計:電離真空計是測量高真空的主要真空計。在低壓強氣體中，氣體分子被電離所生成的正離子數(shù)與氣體的壓強，即氣體分子的密度成正比。利用此原理制成的真空計叫電離真空計。按照產(chǎn)生離子方法的不同，利用由熱陰極發(fā)射電子，使氣體分子電離的原理制成的真空計叫熱陰極電離真空計。利用在強電場和強磁場作用下，由冷陰極放電作用使氣體分子電離的原理制成的真空計，叫冷陰極電離真空計。

　　現(xiàn)將熱陰極電離真空計的工作原理簡介如下，熱陰極電離真空計，由熱陰極電離規(guī)管和測量儀器組成。測量儀器由規(guī)管工作電源，發(fā)射電流穩(wěn)壓裝置和離子流測量放大器等部分組成。熱陰板電離規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相通。熱陰極電離規(guī)管是一個三極管(圖9),管內(nèi)有陰極、柵極和收集極。收集極電位，相對于陰極為負電位;柵極電位，相對’于陰極為正電位。當電離規(guī)管通電加熱后，陰極發(fā)射出電子。此電子在到達柵極過程中，同氣體分子碰撞發(fā)生電離，產(chǎn)生正離子和電子。當發(fā)射電流一定時，正離子的數(shù)目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后，經(jīng)測量電路放大就可由指示電表讀出被測系統(tǒng)真空度。

　　一般低真空測量和高真空測量不能用一種真空計來完成，因而采用復(fù)合真空計。目前，應(yīng)用**廣的是電離與熱偶式復(fù)合真空計。它的漢l量范圍為10-1-5x10一托。10-'---10-.托低真空由熱偶真空計測量，l。一“-5x10一托高真空由電離真空計測量。復(fù)合真空計附有一個熱偶規(guī)管、一個電離規(guī)管，分別插在被測真空系統(tǒng)上。通過復(fù)合真空計上的旋紐，分別給兩個規(guī)曹加熱，并選擇使用。

　　真空系統(tǒng)量裝置等部分組成真空系統(tǒng)由真空泵、管道、真空閥門、真空測爐的技術(shù)性能。真空系統(tǒng)配置的好壞，真空系統(tǒng)應(yīng)滿足直接影響真空熱處理：

　　**，真空系統(tǒng)必須滿足真空室所要求的極限真空，并要有足夠的抽氣速率。為了達到真空室所要求的極限真空，必須選擇合適的真空泵。由于真空泵處于極限真空時，其抽速為零，而被抽真空室由于有漏氣、爐料放氣等因熟所以，選擇真空泵的極限真空度，要比真空室的極限真空高1^-2個數(shù)量級。例如，真空室的極限真空度要求5x10-t托，那末，選擇真空泵的極限真空度就應(yīng)是5x10-'^'5x10-‘托。真空泵的抽氣速率應(yīng)大于爐料和爐內(nèi)結(jié)構(gòu)材料的放氣速率及真空室的漏氣率。

　　第二，真空室的工作壓強應(yīng)與真空泵的**工作壓強范圍相適應(yīng)。**工作壓強，就是在此壓強范圍時，泵有較大的抽速。