真空管道:真空管道配的好壞,直接影響真空系統的抽氣性能,真空管道的直徑應保證真空系統有足夠的通導能力。真空管道材料的選擇,要考慮材料放氣率對真空度的影響。一般低真空管道選用20,A,等碳素鋼,高真空管道選用1Crl8Ni9Ti不銹鋼,并要求管道內表而拋光。真空管道之間的活連接用法蘭連按。橡膠密封圈密封的焊接鋼法蘭,采用機械工業部標準JB919-66(見第3章喪15),橡膠密封的焊接松套鋼法蘭,采用機械工業部標準JB920-66.法蘭間用密封圈密封。密封圈標準采用機械工業部標準JB921-6G(見第3章表16),真空管道與骨道之間的焊接,以及管道與法蘭的焊接要求焊縫有足夠的強度和氣密性,焊縫平整、光滑、不得有氣孔、裂紋等缺陷。法蘭上裝膠圈的密封槽焊后應加工。焊接后焊縫要作氣密性試驗。對于公稱直徑10-250毫米的管道,一般用6公斤/尾米.的水壓進行強度試驗,再用4公斤/甩米2的氣壓進行氣密性試驗,對于公稱直徑300--1000毫米的管道,用3公斤/ii米’的水壓進行強度試驗,用24斤/厘米名的氣壓進行氣密性試驗。進行氣密性試驗時,加壓保持15分鐘,用肥皂水涂在焊縫處,檢查不允許有滲漏現象。真空管道中減震用的波紋管,按機械工業部標準JB1111-68選取,真空熱處理爐的波紋管材料一般用1Crl8Ni9Ti不銹鋼,波紋管與法蘭之間的焊接**用氨弧焊。小直徑真空管道減震用的真空膠管,按HG6-675-67標準選用。
真空系統中的阱也稱捕集器。其主要種類有機械阱、冷凝阱、吸附阱等。在一般真空系統中,機械阱是常用的一種。它的主要作用是用來擋住真空室內放出的灰塵、油等雜物,以免污染真空系統,并可以對真空系統中有害氣體進行過濾。加入冷卻劑的阱稱為冷阱。冷阱可以冷卻被抽氣休,從而可以捕集被抽氣體中的可凝蒸氣,克服冷凝蒸氣對真空泵工作的不良影響,提高真空泵的效率。冷阱常用的冷凝劑有水、干冰、液氮、液氫、氛里昂等。