ZJ型機械增壓泵是根據羅茨送風機原理工作的，通常也稱機械增壓泵為羅茨泵。羅茨泵是具有分子泵作用的一種容積式真空泵。這種泵的工作范圍是10-5x10一托，進口壓強在10^10-:托時，有較大的抽速。現將羅茨泵的容積作用原理和分子作用原理說明如下:泵體內有兩個“8”字形轉子，作等速反方向旋轉，使進氣口方面和排氣口方面的泵腔容積發生重復變化，達到吸氣和排氣的目的，排出的氣體由前級泵抽走，這就是羅茨泵的容積作用原理。由于羅茨泵是在入口壓強較低的條件下工作，轉子的轉速又較高(一般為1000-3000轉/分)，轉子表面的線速度，接近被抽氣體的分子熱運動速度。這時，碰撞在轉子上的氣體分子，被轉子攜帶到排氣口，被前級泵抽走，這就是羅茨泵的分子作用原理。羅茨泵的轉子與轉子，轉子與泵體間有一定間隙。因此，這種泵具有驅動功率小，轉速高，抽速大，體積小，啟動快等特點。羅茨泵，必須有機械真空泵作為它的前級真空泵才能正常工作。如果沒有前級真空泵，一方面由于轉子與轉子間，轉子與泵體間有間隙，氣體反流較大，得不到較高的真空度，另一方面，壓縮真空度低的氣體，所需的功率大，使泵的發熱量大，容易把泵卡死。所以，這種泵必須有一定的預抽真空度時，才能啟動。一般羅茨泵在5-15托真空度時啟動。羅茨泵的抽速與前級真空泵的抽速**經濟合理的比例，大約為10:1;

　　Z型油增壓泵(圖4):油增壓泵的工作壓強范圍為介于機械真空泵和油擴散泵的工作壓強范圍之間，在10-Z^-10-，托壓強范圍內有較大的抽速。油增壓泵由泵體、加器、傘形擴散噴嘴、Al瓦爾噴聳和一擴壓管等部分組成。其工作原理是:在入口處高真空段，被加熱燕發的油蒸氣，通過傘形擴散噴嘴1的噴射，形成高速蒸氣流，使入口處被抽氣體不斷擴散至蒸汽流中。在出口處的低真空段，加熱蒸發的油燕氣經拉瓦爾噴管高速噴出，裹攜入口處的氣體進入擴壓管。擴壓管內蒸氣流的速度降低、壓強提高，在擴壓管出口處壓強達到等于或高于其周圍的壓強，從而由出氣口被前級泵抽走。各級工作的油燕氣流，被泵體上的冷卻水管冷凝，經回油管流回油箱，循環使用。

　　K型高真空油擴散泵(圖5)3這種泵，在前級預抽真空10-=^-1。一托條件下，可以獲得10-`-10一托的真空度。加熱爐是獲得高真空的主要設備。油擴散泵的工作真空度在10-‘托至1。一托之間。在此壓強下，被抽氣體的平均自由程要大于擴散泵進口直徑，氣體的流動屬于分子流。泵的抽氣主要靠被抽氣體分子向蒸氣流中的擴散，因此，這種泵叫擴散泵。‘其工作原理是，泵休底部，注入低飽和蒸氣壓的擴散泵油，作為工作介質。泵底部的電加熱器，把擴散泵油加熱蒸發為油蒸氣。油燕氣通過導流管傳至上部傘形帽下面的環形噴嘴，由噴嘴向下噴射高速的蒸氣流。蒸氣流的速度高、壓強低，所含氣體極少。蒸氣流邊界ab上面被抽空間.的氣體分壓蠅，大于邊界下面燕氣流的氣體分壓強。根據氣體分子運動理論，壓強高的氣體向壓強低的方向流動，被捅氣休廁不廝麗百ab上面向蒸氣流內擴散。這樣，被抽氣體經過噴嘴的多級擴散和壓縮，被燕氣流攜帶到泵的出口，由前級泵抽走。冷卻水管，冷卻泵體內壁，油蒸氣在泵體內壁上被冷凝成油后，又返回至底部的蒸發器，重新被加熱，如此循環工作。