原子熒光分析法將原子熒光作為重要基礎，也就是原子蒸汽通過吸收一定的輻射波長從而被激發，之后受激原子經過去活化，zui后發射出原子熒光。原子熒光分析法擁有*的靈敏性，原子熒光主要是利用直角方向上產生的入射光實施測定工作，因此要比一般的可見分光和紫外光具有的靈敏度要高；的選擇性，熒光光譜包含了發射與激光光譜，物質進行測定時具有更強的選擇性，既可以按照特點實行發射同時還能按照吸收特點測定物質；取樣工作十分容易操作，由于測定方法擁有的靈敏性非常高，節約了使用樣品的含量，測定過程中樣品僅需幾微升的含量；可以獲得更多的物理參數等，這些充分體現了被研究物質分子具有的各種特點，利用她們能夠獲得更多關于分析的信息。
通過原子熒光分析法測定廢水和飲用水中存在的砷；根據氫化物的原子熒光分析法，使用 HNO3和 K2Cr2O7作為保護汞的試劑對土壤中存在的痕量銻、汞的含量進行測定，同時還能對存在于空氣中的砷實施測定，并且分析了干擾等問題；目前，還可以在原子熒光分析法的基礎上利用激光光源激發原子化器石墨爐測定大腦中存在的鉈，采用分子篩瓊脂糖凝膠分離紅細胞和紅細胞膜，并且對細胞膜結合硒使用原子熒光分析法進行了測定；應用原子化器電熱石英管對血漿中出現的硒進行測定。
