潔凈室級別劃分標準及他們的應用
目前對潔凈室等級劃分*常用的是美國聯邦FS209E標準。常說的100級潔凈室說的就是指在1立方英尺的空間內,大于等于0.5微米的粒子必須不多于100個,10級就是1立方英尺的空間,0.5微米的粒子必須不多于10個,1000級則不能多于1000個。
一般來說,1級潔凈室主要用于制造大規模集成電路的微電子工業;10級的潔凈室主要用于帶寬小于2微米的半導體行業;100級是*常用的潔凈室,可用于醫藥中的無菌制造工藝、、人造內臟器官和集成電路生產;1000級主要用于光學產品和高質量微型軸承的生產,以及飛機陀螺儀的測試;10000級用于液壓設備或氣壓設備的生產,有些情況下也用于食品飲料的生產;100000級用于很多工業部門生產部門,食品飲料和醫藥行業也常常使用這**潔凈室。
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