無塵室等級，無塵室標準，無塵室等級標準
2023年05月16日 13:48:05
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無塵室等級，無塵室標準，無塵室等級標準是什么？
依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Standard(FS)209E,1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸為0.5µm，例如，1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆，如果塵粒尺寸不是0.5µm，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2µm(塵粒尺寸在0.2µm或更大下，密度不大于75顆/立方英?)，1級在0.1µm(塵粒尺寸在0.1µm或更大下，密度不大于35顆/立方英?)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。
下表為無塵室清潔度的定義：
塵粒數／立方英
級數 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm
1 35 7.5 3 1 N/A
10 350 75 30 10 N/A
100 N/A 750 300 100 N/A
1000 N/A N/A N/A 1000 7
10000 N/A N/A N/A 10000 70
100000 N/A N/A N/A 100000 700
無塵室等級，無塵室標準，無塵室等級標準定義
一 、無塵室定義
將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間』。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及微粒子(μm)，且指一般空氣清凈機無法**之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業用IndustrialCleanRoom（＝ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用BiologicalCleanRoom（＝BCR）。
二、聯邦規格無塵室等級
現今一般多奉行美國所制定的聯邦規格（U.S. Federalstandard209b）,BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格（美國航空總署 5340.2規格）。
其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3（立方英尺）空氣中,含有多少個0.5μ（micro）以上的微粒子,及稱為「等級○○」。例如：空氣中含有10個0.5μ（micro）以下時,標示為「等級10」。而自然界大氣中通常含有300,000～3,000,000個微粒子。
三、在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的清潔等級，分為等級1、2…….8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米(1微米=千分之1毫米)之塵埃有多少，是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中，0.1微米的灰塵若是在10個以下時為等級1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，以此類推。
21世紀，*先端產業的發展，加速了產業構造的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型和精密化，塵埃和溫濕度的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中使用防塵材料及商品都顯得格外重要。
所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路技術的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔靜度的需求，在工業上即使粒子之尺寸小于1微米，也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。由于奈米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷的增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒地落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造的要素。
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