對(duì)于大型的新生產(chǎn)廠商，通常是很容易作出不再以氣柜作為氣體供應(yīng)和分配的決定。但是這對(duì)于較小的半導(dǎo)體制造商并不容易。BOCEdwards公司產(chǎn)品經(jīng)理MikeMarmaro說(shuō):“有一個(gè)不錯(cuò)的經(jīng)驗(yàn)規(guī)律：直到每分鐘50標(biāo)準(zhǔn)立升為止，氣柜都是有效的。只要超過(guò)此標(biāo)準(zhǔn)，你就需要增加多個(gè)氣柜或者一套特殊的大宗氣體系統(tǒng)。”

如果依據(jù)需要，以大宗氣體系統(tǒng)取代多個(gè)氣柜，正如MikeMarmaro指出的，一套可取代六個(gè)氣柜的大宗氣體系統(tǒng)并沒(méi)有六倍那么貴。他說(shuō)：“而且產(chǎn)品本身的價(jià)格也可帶來(lái)經(jīng)濟(jì)效益，購(gòu)買的體積越大，則相對(duì)越便宜。”

但是這些效益并不意味著現(xiàn)有的加工廠必須著手改變他們已有的氣體配送方式。美國(guó)Air Liquid Electronics公司行銷主管IsabelleLauzon說(shuō)：“只要達(dá)到一定條件，對(duì)他們來(lái)說(shuō)，制造300mm硅片比繼續(xù)生產(chǎn)200mm的硅片更便宜，客戶們就會(huì)轉(zhuǎn)向300mm硅片。當(dāng)公司建立新的加工基地時(shí)，正是他們采用*新工藝的機(jī)會(huì)，這就是為什么我們看到越來(lái)越多的大宗氣體和化學(xué)制品配送系統(tǒng)的原因。”

大宗氣體配送系統(tǒng)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是明顯減少了更換鋼瓶的需要。這個(gè)優(yōu)點(diǎn)體現(xiàn)在兩個(gè)方面。**，連接和重接越少，加工氣體被污染的可能性就越小──一個(gè)直接影響生產(chǎn)的問(wèn)題。**，較低的更換頻率明顯減少了員工暴露于這些有害物質(zhì)中的可能性。

即使具有這些優(yōu)點(diǎn)，仍然存在許多挑戰(zhàn)和大宗特種氣體配送系統(tǒng)所必需的安全措施。從使用氣柜為單一設(shè)備供氣到使用大宗系統(tǒng)為多個(gè)設(shè)備供氣，這一轉(zhuǎn)變意味著系統(tǒng)的可靠性比以往任何時(shí)候都重要。

BOC Edwards公司的阿拉巴馬州Huntsville辦事處技術(shù)經(jīng)理BillTucker說(shuō)：“一個(gè)氣柜對(duì)應(yīng)一臺(tái)設(shè)備的時(shí)代已經(jīng)過(guò)去了。我們看到越來(lái)越多的客戶希望設(shè)備提供冗余，這樣，如果失去部分氣源，他們依然可以維持安全生產(chǎn)。我們至少已提供六臺(tái)冗余系統(tǒng)，但是它們只是特別針對(duì)我們客戶的，他們需要這些系統(tǒng)因?yàn)樗麄儾幌Ｍ魏卧O(shè)備在任何情況下停止運(yùn)轉(zhuǎn)。”

因?yàn)樵O(shè)備的停機(jī)時(shí)間一直是關(guān)注的焦點(diǎn)，新的氣體配送系統(tǒng)使一些工業(yè)供應(yīng)商加強(qiáng)他們的現(xiàn)場(chǎng)制氣服務(wù)以管理物流，并解決潛在的問(wèn)題。例如，在過(guò)去的一年里，AirLiquide公司推出一種稱為FabGenius的產(chǎn)品服務(wù)。這個(gè)系統(tǒng)不僅采集數(shù)據(jù)，而且學(xué)習(xí)什么是特定系統(tǒng)的正常操作，什么不是。Lauzon說(shuō)：“它的用途是區(qū)分真正的和虛假的警報(bào)，或者分辨怎樣的問(wèn)題會(huì)發(fā)展并惡化。有時(shí)候，監(jiān)測(cè)系統(tǒng)會(huì)發(fā)送一個(gè)誤差引起的警報(bào)。FabGenius將能夠確定哪些屬于正常誤差范圍，而哪些需要引起注意。這樣可以減少警報(bào)數(shù)量，甚至可以幫助引起管理人員對(duì)正在發(fā)生并需要注意的問(wèn)題的警覺(jué)。”

正如Lauzon指出的，控制室是接收關(guān)于氣體配送系統(tǒng)的數(shù)據(jù)的地方，通常只是靜態(tài)接收數(shù)據(jù)的區(qū)域。數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制室，達(dá)到預(yù)設(shè)的閾值時(shí)報(bào)警。Lauzon說(shuō)：“通常，客戶擁有某種監(jiān)控系統(tǒng)，其加工基地中的配送中心的某些關(guān)鍵參數(shù)被送到控制室。但是那只是監(jiān)測(cè)系統(tǒng)在監(jiān)視并報(bào)警，但是它并不思考。當(dāng)某些地方出錯(cuò)時(shí)它僅僅發(fā)出警報(bào)。擁有了FabGenius系統(tǒng)，Air Liquide表示正在著手下一步的發(fā)展。

一套在動(dòng)力站房里工作的Air Liquide的大宗氣體配送系統(tǒng)