三維柔性焊接平臺表面質量的檢查項目和評定方法有以下幾項：

1、三維柔性焊接平臺粗糙度：用輪廓檢查儀、雙管顯微鏡或者干涉顯微鏡等測定三維柔性焊接平臺表面粗糙度，按標準進行評定。三維柔性焊接平臺表面的劃痕、坑點等缺陷依靠目測檢查，大量生產中已開始采用光電檢查儀器代替目測檢查儀器檢查三維柔性焊接平臺的表面缺陷。

2、三維柔性焊接平臺的裂紋等微觀缺陷：可用以下方法和顯微鏡配合進行檢查，大量生產中可用自動光學掃描儀代替目測檢驗。

（1）磁粉探傷法：將三維柔性焊接平臺磁化后，在裂紋缺陷處就會產生漏磁場，當澆上磁鐵粉懸浮液后，鐵粉即沿著三維柔性焊接平臺缺陷所形成的的磁力分布，此檢查方法靈敏度高，能的顯示三維柔性焊接平臺表面的細小裂紋和表面下的裂紋。

（2）熒光或者著色檢驗法：利用熒光劑或者有色液體的滲透作用顯示出三維柔性焊接平臺的裂紋，主要用于不用磁化的材料的探傷。

（3）酸性檢查：裂紋等缺陷等腐蝕后可提高清晰度。

3、三維柔性焊接平臺表面顯微硬度變化：用維式硬度計測定。若要測得三維柔性焊接平臺表面層的硬度分布，可將三維柔性焊接平臺加工出2~3度的斜面，即可將三維柔性焊接平臺表面層厚度h放大25倍左右。

4、三維柔性焊接平臺殘余內應力測定。

（1）酸腐蝕法：三維柔性焊接平臺又較大的拉應力時，經酸性復試后即出現裂紋，可產中很方便地使用。

（2）逐層去除法：可以測定三維柔性焊接平臺表面層的應力分布。該方法是靠電介質腐蝕逐層去除表面層，因為內應力重新平衡引起零件的變形，測其變形量即可計算出殘余內應力值。

（3）X射線衍射法：用X射線可測得原子間距的變化。當三維柔性焊接平臺存在殘余內應力時，進出的原子間距發生變化。間距大于正常組織時為拉應力，反之為壓應力。此法可 較的測定三維柔性焊接平臺表面殘余內應力。當需要測定三維柔性焊接平臺表面應力分布時，應于逐層去除后測定。由于此法效率甚低，難于在生產中直接使用，已發展了X射線衍射儀，可以在幾分鐘之內確定殘余內應力值。