作為支撐經濟社會發展和保障國家信息安全的戰略性、基礎性和先導性產業，發展半導體產業已經成為國家戰略。

而在半導體生產過程中，需要經歷數十甚至上百道工序，任何微小的沾污都有可能導致電路失效。因此，從半導體工廠的建造調試到正式運行，都必須經過嚴苛的檢測，方能保證后續精密生產。

你以為這些環節的檢測一定相當復雜繁瑣？

近期，德國某半導體工廠就身體力行的證明，只需要一臺集成了的四極桿和抽真空技術的Aspec質譜儀，立刻事半功倍！

供氣管道、閥門和儀表調試

一個全新的半導體工廠，往往需要建造數百公里長的管道工程，其中包括數以千計的接頭和彎管，以及閥門、儀表等。這些管道工程必須經過非常嚴格的微粒、泄漏、氧氣、水和其他污染物測試，方能為半導體生產安全供氣。

首先，由于管道結構錯綜復雜，常常需要穿過工廠的許多樓層位置，因此必須識別和檢查管道出入口，保證管道方向及連接無誤。這就需要將氮氣、氬氣或氦氣等氣體通過管道進行識別，使用我們的質譜儀則能非?？焖俚倪M行檢測。

同時，為了保證安全，管道系統必須能夠承壓且無任何泄露。無論是通過氮氣、氦氣對每根管道進行長達10小時的壓力試驗，還是測試氮、氦、氬是否發生泄露，Aspec質譜儀都可以精準采樣。

此外，半導體工廠的管道工程必須達到清潔度要求。例如需要反復檢測小于0.1微米的粒子、低于10ppm的氧氣、小于1ppm的水蒸氣等，許多半導體工廠只能使用不同的儀器來進行不同的項目檢測，相當耗時耗力，而Aspec質譜儀一臺設備即可完成所有氣體監測，大幅提高工作效率。

半導體工藝氣體泄漏監測

在半導體工廠的生產過程中，Aspec質譜儀同樣能夠發揮極大的作用。

如果閥門、接頭、儀表等發生故障，半導體工藝氣體無法順利排出，就會嚴重影響工廠的正常運行。經過充分的良好驗證，Aspec質譜儀能在線監測這些氣體是否發生泄露，幫助工作人員及時采取措施，確保氣體到達正確位置。

除此之外，許多半導體生產需要在高度干凈的潔凈室中進行，應用我們的質譜儀也可以實現對潔凈室中酸類、苯類、酮類等組分進行24小時不間斷實時監控，是半導體生產工藝中的質量控制設備。

精尖產業的發展，更需要技術的支持。經過10多年的不斷創新，Aspec質譜儀已經在德國半導體行業大展身手，也必將成為助推我國半導體發展的有力伙伴！