初識軟X射線及極紫外光譜

軟X射線（Soft X-Ray）與極紫外( eXtreme UV) 波段的光譜技術給科學和技術提供了其他波段所不能及的豐富機會 。此波段光輻射的波長要比可見光或紫外輻射短很多 ，因此用這個波段的顯微技術可以看到更小的結構紫外光譜怎么分析，用這個波段的光刻可以寫下更精細的圖案 。 軟 X 射線／極紫外譜區中的光子能量基本上與幾乎所有元素的主要共振線匹配 ；雖然在材料中的吸收長度非常短（典型為1微米或更短），但是正是這個波段為元素和化學分析提供了非常精確的方法，例如在表面科學和環境科學中廣泛使用軟X射線-極紫外光來進行元素分析和化學分析。

特定的波段造就光譜儀設計的性

XUV ～ Soft X-Ray

極紫外-軟X射線波段不能在空氣中傳播，同時材料的反射、透射特性均和可見光波段有非常大的不同。因此極紫外-軟X射線光譜儀設計非常特殊：

針對嚴苛的要求

美國mcpherson公司可提供解決方案

美國McPherson 公司位于美國麻省，在光柵光譜儀及光譜系統方面具備逾60年的設計制造經驗，尤其在軟X射線-真空紫外波段光柵光譜以及長焦距、大口徑快速光譜、級聯光譜儀方面提供業界的技術指標，并在各類研究領域享有盛名。同時McPherson 提供軟X射線 - 遠紅外的光源及探測器、真空狹縫/快門/濾光片輪/反射式匯聚器等核心部件，以及全波段透射/反射/吸收/熒光/拉曼/光度學與輻射度學測試系統。

輕松探秘極紫外光譜紫外光譜怎么分析，讓神秘不再

極紫外光源診斷

垂直安裝的McPherson 248/310 光譜儀與 Andor‐Technology DO420BN‐995 直接探測相機CCD:

XAPPER光源位于LLNL，全稱“射頻預電離氙氣Z-箍束光源”，目標是為了光刻、損傷測試、解離與燒蝕提供新一代光源，采用一臺248/310與一臺Andor CCD測量光譜。

部分典型光譜如下:

高次諧波探測

McPherson 248/310 掠入射光譜儀與MCP探測器以及Andor DH420A-FO相機:

在這種架構中MCP與羅蘭圓相切，以獲得探測器面陣上聚焦。MCP探測器具備光增益功能，更可以加以門控，并和實驗系統同步。MCP采用光纖錐與CCD耦合。 (UNM)

高次諧波光譜圖樣，利用McPherson 248/310譜儀，MCP耦合的Andor相機在不同中心波長位置拍攝 (Max‐ Planck‐Institut).

掃描模式拍得的高次諧波光譜 (Friedrich‐Schiller‐University)

除此之外，248/310 還廣泛用于

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