有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱可快速降溫，提高生產效率；充氮氣降低氧濃度，防止產品在高溫狀態被氧化。用于鍵合預處理，晶圓，芯片，電容，電池，封裝，光刻膠固化，PI固化，無氧化烘烤等。
有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱控制系統：
具備參數設定、工藝程序編寫功能，工藝過程可保存并輸出；
工藝結束提示音；
觸摸屏
PLC控制器
運行程式可保存不少于5個工藝菜單。
材質
（1）內部為304或316材質；
（2）外部材質：優質冷軋板噴塑；
（3）硅橡膠密封；
（4）內部采用圓角結構。
（5）冷卻水管材質：金屬水管和其他。
內部尺寸：長×寬×高=600mm×500mm×500mm
腔門：帶有觀察窗。
擱架：配有不銹鋼的托盤；
真空控制系統
（1）配備數字真空控制器，顯示腔內相對壓強；
（2）配備干泵、真空檢測和顯示系統，真空壓力可控；
（3）真空泵：油泵或干泵
溫度控制系統
（1）可編程多段升溫程序；
（2）具備溫度校準功能。
安全保護系統
（1）接地保護裝置；
（2）超溫報警及保護裝置；
（3）加熱器短路保護裝置；
（4）壓力低壓報警；
配有三色指示燈及蜂鳴器提示機臺運行狀態。
有降溫功能真空烘箱，快速降溫真空烤箱技術指標：
真空
（1）工藝真空度：≤133pa；
（3）通過真空電磁閥可實現真空度的控制。
溫度
（1）溫度范圍：室溫至300℃；
（2）溫度調節精度：≤±0.5℃；
（3）溫度穩定度：≤1℃；
（4）溫度波動度：≤1℃；
（5）降溫至室溫時間：＜60min；
（6）升溫至200℃時間：＜30min；
（7）可編程進行多段升溫。
潔凈度
可達class100(使用環境100級）
