SF6設備故障可分為兩大類：常規機械故障和電氣絕緣故障。電氣絕緣故障分為局部放電、過熱、電暈閃爍和電弧故障。

(1) X射線照相。內部缺陷檢測，機械故障。

(2) 紅外定位技術。大電流電弧故障，過熱定位。

(3) 電磁技術。局部放電檢測和定位。

(4) 化學檢測法。分析分解產物，過熱故障、電弧故障和局部放電。

(5) 聲波檢測法。局部放電檢測和定位。

一般采用化學檢測，通過分析分解產物來檢測設備故障。SF6氣分解氣體主要包括。

(1) SO2。是SF6氣體設備故障時分解的主要特征組分，正常運行的設備中，SO2的含量在5μL/L以下；若發生故障時，SO2會增長10倍以上。

(2) H2S。是SF6氣體在電弧下的水解產物，不穩定，容易再分解。

(3) HF。在電弧下會分解氟硫離子，若水分含量較高下會產生HF。

(4) SOF2。電弧分解產物，無色氣體，有強烈的臭味，化學穩定性強，可發生水解反應，并能在堿的酒精溶液中水解，可溶于苯和之中，能被活性氧化鋁和活性炭吸附。

測量SF6氣體中的分解產物測量傳感器單元采用電化學傳感器，其中電化學傳感器由感應電極、參比電極、補償電極及電解槽等組成。其反應機理是：擴散進入傳感器的氣體在感應電極表面發生氧化還原反應，在另一電極發生與之相對的逆反應，在外部電路上形成電流。