直到19世紀末，六氟化硫(化學分子式為SF6)即使對于化學家來說也還是一種陌生的化合物。人們在自然界中未發(fā)現(xiàn)它的存在。

1900年法國Moisson和Lebeau***次用元素硫和氟氣直接反應合成出SF6氣體并對其物理化學性質(zhì)進行了初步研究，發(fā)現(xiàn)SF6是一種可以與氮氣和其他惰性氣體相比擬的化學上極穩(wěn)定的物質(zhì)，而且具有優(yōu)異的電氣絕緣能力。

SF6氣體檢漏儀

本世紀三十年代后，隨著科學技術的發(fā)展，SF6氣體日益引起人們的興趣和關注，并對其進行了大量的科學實驗研究工作。

1937年法國***先將SF6應用于高壓絕緣電氣設備。西德在此期間也開始了該領域的研究工作，并于1964年推出臺220KVSF6斷路器。進入六十年代，SF6電器絕緣設備的*性已為世人，各發(fā)達國家競相研制開發(fā)該類型設備。法、日、西德、美國、瑞士等國的大型電氣設備制造公司相繼研制開發(fā)出多種類型和等級的SF6氣體絕緣(GIS)設備。僅1971年至1976年世界生產(chǎn)之GIS設備就增長了近10倍。

以SF6為介質(zhì)的電器有斷路器，高壓開關、電壓互感器、電流互感器、避雷器、全封閉組合電器、變壓器、充氣電纜等幾乎無所不包，電壓等級已突破1000kV，至今其發(fā)展勢頭不衰。

我國六十年代開始研制SF6電氣設備，各種等級型號的國產(chǎn)和進口設備陸續(xù)投入運行。進入八十年代機械電力部門已將SF6電氣設備作為電網(wǎng)裝備更新?lián)Q代的主要目標。可以預見SF6電器設備在我國必將得到日益廣泛的應用，具有廣泛的發(fā)展前景。

此外，六氟化硫氣體在高能物質(zhì)領域也有重要應用，例如我國剛剛通過***驗收(1987.8.14)的大型串列加速器，端電壓13兆伏一次充入的絕緣氣體(SF6)量為23噸。在鑄造冶金行業(yè)，SF6作為新型的熔煉保護氣氛業(yè)已普片應用。至于SF6早已在氣象、環(huán)境部門(作為示蹤氣體)以及在醫(yī)學方面(人工氣胸)的應用則更不待言。