微細電火花加工的原理與普通電火花加工并無本質(zhì)區(qū)別。其加工的表面質(zhì)量主要取決于電蝕凹坑的大小和深度,即單個放電脈沖的能量;而其加工精度則與放電間隙、工藝系統(tǒng)穩(wěn)定性、電極損耗等因素密切相關。微細電火花加工也是利用脈沖電源,將高頻放電能量輸向放電間隙,靠產(chǎn)生的高溫熱效應等綜合效應實現(xiàn)對材料的去除,從而達到對工件加工的目的。

1.放電面積很小細電火花加工的電極一般在<5～100μm 之間,對于一個<5 μm 的電極來說,放電面積不到20μm2 ,在這樣小的面積上放電,放電點的分布范圍十分有限,極易造成放電位置和時間上的集中,增大了放電過程的不穩(wěn)定,使微細電火花加工變得困難。
2.單個脈沖放電能量很小
為適應放電面積極小的電火花放電狀況要求,保證加工的尺寸精度和表面質(zhì)量,每個脈沖的去除量應控制在0. 10～0. 01μm 的范圍內(nèi),因此必須將每個放電脈沖的能量控制在10 - 6～10 - 7 J 之間,甚至更小。
3.放電間隙很小
由于電火花加工是非接觸加工,工具與工件之間有一定的加工間隙。該放電間隙的大小隨加工條件的變化而變化,數(shù)值從數(shù)微米到數(shù)百微米不等。放電間隙的控制與變化規(guī)律直接影響加工質(zhì)量、加工穩(wěn)定性和加工效率。特別是微細電火花加工中,微孔的加工占大部分,放電間隙的大小與穩(wěn)定程度更是微孔加工得以成功的關鍵。