德國CS進口露點傳感器 - FA 510/515在半導(dǎo)體廠監(jiān)控氮氣供給體系中的使用

半導(dǎo)體廠的氮氣供應(yīng)方式取決于用氣規(guī)劃、氮氣出產(chǎn)工廠間隔、工廠是零散分布或是群聚設(shè)置運用不同的供氣方式，常見如桶槽供應(yīng)方式、鋼瓶供應(yīng)方式、管道供應(yīng)方式、用氣端供應(yīng)方式等。不管任何一種供應(yīng)方式，都必須由運送系統(tǒng)之氮氣貯存容器，如高壓鋼瓶，或吸附式的氣體貯存鋼瓶，再透過管路將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥箱，進行流量之控制與進氣的混合比例控制，再供應(yīng)給制程后端機器運用。

為抵達氮氣運用的規(guī)范，一般會設(shè)備露點傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機前端，也可設(shè)備在烘烤凈晶圓體前，如此一來可以更精準的監(jiān)控氮氣運送進程的露點值保持在極低濕的程度，以前進制程中的良率。

在半導(dǎo)體工業(yè)運用的氮氣大多會直觸摸摸電子零件，純度需抵達ppm、ppb級，潔凈度則為塵土粒徑控制小于0.1 … 0.05m，干燥度抵達壓力露點-40℃ … -70℃。

為抵達氮氣運用的規(guī)范，一般會設(shè)備露點傳感器在氣體傳送至冷凍干燥機前端，也可設(shè)備在烘烤凈晶圓體前，如此一來可以更精準的監(jiān)控氮氣運送進程的露點值保持在極低濕的程度，以前進制程中的良率。

德國CS進口露點傳感器 - FA 510/515

露點探頭特點：用于測量壓縮空氣和氣體中的殘留水分；測量范圍 -80 ... + 20℃或 -20 ... + 50℃。技術(shù)指標：壓力范圍：-1...50bar；特殊版本高達350bar

德國CS進口露點傳感器 - FA 510/515

剩余濕度測量范圍從 -80 至+ 20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd。新特點：帶 Modbus-RTU 接口。

用于測量冷凍式干燥機 -80 至 +20°Ctd 或-20至+50°Ctd的濕度

新一代露點傳感器另配有常用的 4...20 mA 模擬量輸出、RS 485 數(shù)字接口 (Modbus-RTU)。露點傳感器通過這個 RS 485 數(shù)字接口測到和計算的所有測量值均可通過 Modbus 協(xié)議調(diào)取，如露點、溫度、濕度等。

傳感器和分析設(shè)備在舊版本的基礎(chǔ)上做了進一步的改進。尤其是集成了經(jīng)改良的溫度補償器，提高了各種環(huán)境溫度下的準確度并增強了傳感器信號的分辨率。如同舊版本一樣，新式露點傳感器已經(jīng)表現(xiàn)出了長久穩(wěn)定且可靠的測量值。傳感器元件抗結(jié)霜，因此標配不銹鋼燒結(jié)帽，防止直接接觸雜質(zhì)顆粒。

FA 510/515 - 德國CS露點傳感器露點探頭監(jiān)測吸附式干燥機的特別優(yōu)勢：

測量范圍 -80...+20°Ctd或 -20 ... + 50°Ctd

長期使用極其穩(wěn)定

模擬量輸出 4...20 mA

抗結(jié)霜

適應(yīng)時間短

耐壓高達 350 bar（特殊版本）

新特點：Modbus-RTU 接口

新特點：通過改進的電子分析裝置實現(xiàn)更高的傳感器信號分辨率

新特點：使用手持式設(shè)備或 CS 服務(wù)軟件在現(xiàn)場進行傳感器診斷