單晶硅壓力變送器其工作原理為外界壓差傳遞到里面的單晶硅全動態的壓阻效應，壓力的作用下產生一個跟從壓力變化的電壓信號輸出，將這個電壓信號通過電子電路收集、放大和軟件補償處分后，就得到壓力信號的線性輸出。

單晶硅壓力變送器的輸出靈敏性高、信號量大、回差極小，并且電路設計較為干脆可靠，所以較多變送器制造廠商優先采用此方案進行變送器的研發和制造。但是較之金屬電容式傳感器和單晶硅諧振式傳感器，單晶硅壓力變送器的應用具有較為特殊的工藝要求。

主要表現在硅芯片的無應力封裝技術和硅薄膜的單向過載保護技術方面。單晶硅壓力變送器主要的優勢體現在溫度和靜壓補償環節中，即：雙諧振回路的原始差動信號輸出，而此差動信號不被溫度和靜壓的影響，因此對于后期的變送器的溫度補償和靜壓補償等工序環節操作較為簡便。

單晶硅壓力變送器的性能特點：
1、高純度單晶硅材質，有效進步產品壽命及穩定性；
2、電阻溫度特性互補，進步芯片抗力；
3、LCD帶背光顯示數字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~100%模擬指示；
4、通過按鍵組合操作能實現調零和調滿功能，以及數據恢復功能，方便了現場調試；
5、信號轉換、信號采集與處分及電流輸出控制采用了一體化集成電路（ASICS）使智能變送用具有高穩定、高可靠、高抗震等特點，并且，單晶硅壓力變送器具有良好的互換性。