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潔凈室過濾器的完整性

2025年01月29日 17:42:02      來源:上海蟻霖科學儀器有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:24

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潔凈室的建筑裝修原則是應用材料不產(chǎn)塵、表面光滑易清潔、縫隙密閉不積塵。潔凈室的門不應設置門檻,非必要的凹凸面會使?jié)崈羰业那鍧嵐ぷ魇卤豆Π?/span> 。圖 1 a 中的門檻因接近地面,沉降的大顆粒塵埃易沉積在門檻上,隨人員流動而被夾帶擴散;圖 1 b 中的遮光罩因處于空間高位,懸浮的小顆粒塵埃易沉積在罩面上,因送風口產(chǎn)生的湍流而被觸動擴散。不易察覺、不易清除的塵埃是影響潔凈度的潛在危險源。

 

保證潔凈室不受塵埃微粒影響的核心技術是通風系統(tǒng)中的空氣凈化過濾功能??諝膺^濾器是創(chuàng)造潔凈環(huán)境的核心設備,粗效過濾器可濾除 10 μm 以上的顆粒物,中效過濾器可濾除 1 ~ 10 μm 的顆粒物,高效過濾器可濾除≥ 0.3 μm 的顆粒物 。安裝在通風管道末端的高效過濾器作為潔凈室內(nèi)的道屏障,可視為核心技術,其安裝完整性決定了潔凈室的潔凈度,根據(jù)氣溶膠光度計法測試,不僅要求過濾器的送風面透過率≤ 0.01%,而且對安裝邊框的密閉性的評價標準也應≤ 0.01% [5] ,該要求表明,送風管道內(nèi)的氣流不應有未經(jīng)過濾的部分進入潔凈室,氣流進入潔凈室前必須經(jīng)過有效過濾。在非單向流潔凈室內(nèi)的多個末端,高效過濾器的完整性應99% 確認,任一過濾器的泄漏均可能影響潔凈室的潔凈度。

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