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直線電機(jī)可以搭配各種位置回饋系統(tǒng),1micron的數(shù)字式光柵尺普遍。當(dāng)然也可以選擇例如0.1micron的數(shù)字光柵尺,但要注意運動控制卡是否可以支持高速運動,如果想兼顧高解析和高速度運動的話,可以選擇模擬式的弦波光學(xué)尺。以40micron的模擬尺而言,搭配適當(dāng)?shù)尿?qū)動器或控制器解析到數(shù)十個奈米都沒有問題。

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